AP&S – LOTUS systems – Установка жидкостной химической обработки

  • Полуавтоматическое рабочее место химической обработки для полупроводникового производства, МЭМС, солнечных элементов
  • Загрузка: 2 x 25 пластин 6”; 1 x 25 пластин 6”; 1 x 25 пластин 8”; 1 x 25 пластин 8”; подложки до 210 х 210 мм, блоки кремния – для солнечных элементов.
  • Производительность: до 150 пластин / час (зависит от конфигурации)
  • Применение: очистка, вскрытие, травление; восстановление кремния, усовершенствованный процесс отмывки.
  • Опции: локальный микроклимат (класс 1), ультразвук, основной интерфейс, совмещение с поверхностной сушкой, дозирование твердых веществ, таких как пероксидисульфат аммония.

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.