AP&S – LOTUS systems- Установка для очистки лодочек

  • Автоматизированная струйная установка для очистки лодочек  в производстве солнечных элементов, МЭМС
  • Применение: струйная очистка графитовых и кварцевых лодочек и другой оснастки от установок диффузии и ПА ХОГФ; удаление нитрида кремния;
  • Производительность: до 7,5 графитовых лодочек/день
  • Опции: встроенный дренажный бак с насосом для напорного слива; датчик обнаружения газа для HF.
  • Преимущества: компактные размеры; механизм автоматической очистки; легкое послепродажное обслуживание ввиду модульной концепции.
Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.