AP&S – LOTUS systems Установка очистки кассет

  • Автоматизированная вертикальная струйная установка для очистки кассет в производстве МЭМС
  • Применение: струйная очистка кассет и другой оснастки от установок диффузии и ПА ХОГФ; удаление нитрида кремния;
  • Производительность: 1 кассета/час (6 кассет в загрузке);
  • Размер, объем загрузки: кассеты до 1840х1000 мм (камера на 6 кассет) или 2000х1500 мм (камера на 3 кассеты)
  • Опции: FM 4910 совместимый материал; встроенный дренажный бак с насосом для напорного слива; датчик обнаружения газа для HF.

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.