Riber MBE 6000

  • Серии: Multi-4″, Multi-6″
  • Промышленная сверхвысоковакуумная МЛЭ система
  • 11 мест для высокообъемных МЛЭ источников
  • GaAs
  • Размер обрабатываемых пластин — 4″ и 6″
  • Загрузка подложек в кассету 90?4″ или 40?6″
  • Выращивание подложек за один цикл 9?4″ или 4?6″
  • Моторизованная подача и перенос подложек
  • Высокая производительность
  • Автоматическое управление эпитаксиальным процессом

к списку