Riber Compact 21 MBE

  • Серии: Multi-1″, Multi-2″, Multi-3″
  • Универсальная установка Based on Riber’s field-proven «Vertical Reactor» technology, Compact 21 is a 2″/3″ integrated system, providing, within a small footprint, all the necessary MBE facilities and state-of-the-art characterization capabilities.
  • GaAs,  InP, GaN, Diamond It possesses three electron beam evaporating guns, one of which can be multi-crucible, and can take up to four solid source cells or gas injectors.
  • 3 электронно-лучевых пушки
  • От 6 до 11 мест для МЛЭ источников
  • Размер обрабатываемых пластин — 1″, 2″, 3″
  • Простота обслуживания
  • Автоматическое управление эпитаксиальным процессом

к списку