ООО «Корпорация спецтехнологического оборудования «ВИТРИ»

УСТАНОВКА ГАЛЬВАНИЧЕСКОГО ЗОЛОЧЕНИЯ

  • Применение: для нанесения финишного покрытия «гальваническое золото»
  • Типы ванн: ванна декапирования – 1 шт.; ванна проточной холодной промывки – 1шт.; ванна гальванического золочения – 1шт.; ванна улавливания  – 3 шт.
  • Объем ванн улавливания, декапирования и проточной промывки: 7л
  • Объем ванны гальванического золочения: 10 л
  • Комплектация полипропиленовой ванны декапирования (130х250х250): сливной патрубок с вентилем, съемная крышка из полипропилена, система контроля времени процесса на основе программируемого таймера с зуммером, механизм покачивания штанг
  • Комплектация полипропиленовой ванны проточной холодной промывки (130х250х250): сливной патрубок с вентилем, съемная крышка из полипропилена, переливная труба, трубка подачи воды с вентилем, пистолет для подачи деионизованной воды, пистолет для сушки сжатым воздухом, механизм покачивания штанг
  • Комплектация футерованной фторопластом полипропиленовой ванны гальванического золочения (200х250х250): донный ТЭН из нержавеющей стали, футерованный фторопластовой трубкой и обеспечивающий нагрев электролита до 75°С; бесконтактный датчик уровня «Защита ТЭНа»; две медные анодные штанги; программируемый источник тока до 10 А с дискретностью задания 100 мА; система фильтрации электролита; глухая съемная ванна для осуществления возможности полного слива электролита золочения; съемная крышка из полипропилена с возможностью опечатывания; система контроля времени процесса на основе программируемого таймера с зуммером,  механизм покачивания штанг
  • Комплектация полипропиленовой ванны улавливания (130х250х250): глухая, легкосъемная ванна; съемная крышка из полипропилена, механизм покачивания штанг
  • Рабочая температура в ванне гальванического золочения: ≤75 °С
  • Время нагрева ванны гальванического золочения до рабочей температуры:  ≤40 мин
  • Аварийный поддон для сбора растворов при аварийной утечке
  • Прозрачные регулируемые защитные экраны
  • Сжатый воздух: 0,3 МПа, трубка ø6 мм
  • Деионизованная вода: 0,2 МПа, трубка ø12 мм
  • Вытяжная вентиляция: ≥600 м3
  • Электроэнергия: 220 В, 1ф, 50 Гц, 2,5 кВт
  • Габаритные размеры: 1600х1800х960 мм
  • Масса: ≤200 кг

ЛНГМ

  • Установка химической обработки пластин/подложек
  • Применение: для химического или гальванического осаждения металлов (золочения, меднения, никелирования, палладирования и др.), предварительной подготовки пластин/подложек перед вакуумным напылением, травления резистивных слоев, обработки в органических растворителях и т.д.
  • Количество, состав и комплектация ванн: в соответствии с требованиями Заказчика
  • Возможное оснащение ванн: система фильтрации раствора, таймер длительности процесса, система поддержания температуры раствора с прямым или косвенным нагревом, система измерения электропроводности для ванн промывки, механизм покачивания/встряхивания, автоматический дозатор, ультразвуковой генератор, программируемый источник тока, система автоматического слива насосом или система эжекторного слива с разбавлением концентрированных растворов 1:10 и т.д.
  • Материал ванн: исходя из химической и температурной стойкости к рабочим растворам
  • Полипропиленовые поддоны под ваннами для сбора растворов при аварийной утечке
  • Прозрачные регулируемые защитные экраны
  • Чистый газообразный азот
  • Сжатый воздух: 0,4 МПа, трубка ø6 мм
  • Деионизованная вода: 0,3 МПа
  • Вытяжная вентиляция: 600 м3
  • Опционно: модуль обеспыливания, ванна сушки подогретым азотом или воздухом, стоп-ванна (Quick Dump Rinse), центрифуга для групповой сушки пластин/подложек, модуль нанесения фоторезиста, различная оснастка для обработки пластин/подложек
  • Габаритные размеры: 1600х1800х960 мм
  • Масса: 400 кг

УСТАНОВКА ХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ И ТРАВЛЕНИЯ ПЛАСТИН

  • Применение: для химической обработки полупроводниковых пластин и травления полупроводниковых пластин
  • Типы ванн: ванна химической обработки в смеси серной кислоты и перекиси водорода – 1 шт.; ванна химической обработки в ортофосфорной кислоте – 1шт.; ванна химической обработки в смеси водного раствора гидроксида калия и изопропилового спирта – 1шт.;    «стоп-ванна» – 1шт.; ванна финишной промывки  – 2 шт.
  • Комплектация фторопластовой ванны химической обработки (210х350х250): система нагрева до 100 °С и поддержания температуры, донная решетка с отверстиями для установки кассет с пластинами, система контроля времени процесса на основе программируемого таймера с зуммером, система барботирования, система эжекторного слива реагентов (если дно глухое), азотные ножи.
  • Комплектация полипропиленовой «стоп-ванны» (200х300х200): блок управления, съемная крышка из полипропилена, патрубок в дне ванны и форсунки вдоль передней и задней стенок ванны для быстрого наполнения ванны с пластинами водой, клапан с пневматическим управлением для сброса воды
  • Комплектация полипропиленовой ванны финишной промывки  (200х300х160): переливной карман с кондуктометром для контроля качества отмывки полупроводниковых пластин, съемная крышка из полипропилена, патрубок подачи воды с вентилем в днище ванны, сливной патрубок с вентилем
  • Рабочая температура в ваннах химической обработки: ≤100 °С
  • Время нагрева ванн химической до рабочей температуры: ≤60 мин
  • Время непрерывной работы: ≥8 час
  • Электроэнергия: 220 В, 1ф, 50 Гц, 3,5 кВт

УСТАНОВКА ХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ ПЛАСТИН В ОРГАНИЧЕСКИХ РАСТВОРИТЕЛЯХ

  • Применение: для химической обработки полупроводниковых пластин и удаления фоторезиста с полупроводниковых пластин в органических растворителях
  • Типы ванн: ванна обработки в органических растворителях – 2 шт.; «стоп-ванна» – 1шт.; ванна финишной промывки  – 2 шт.
  • Комплектация ванны из нержавеющей стали для обработки в органических растворителях  (218х278х200): система нагрева до 100 °С (косвенный нагрев через глицериновую рубашку) и поддержания температуры, донная решетка с отверстиями для установки кассет с пластинами, система контроля времени процесса на основе программируемого таймера с зуммером, крышка с водяным охлаждением, сливной патрубок с вентилем, азотные ножи.
  • Комплектация полипропиленовой «стоп-ванны» (200х300х200): блок управления, съемная крышка из полипропилена, патрубок в дне ванны и форсунки вдоль передней и задней стенок ванны для быстрого наполнения ванны с пластинами водой, клапан с пневматическим управлением для сброса воды
  • Комплектация полипропиленовой ванны финишной промывки  (200х300х160): переливной карман с кондуктометром для контроля качества отмывки полупроводниковых пластин, съемная крышка из полипропилена, патрубок подачи воды с вентилем в днище ванны, сливной патрубок с вентилем
  • Рабочая температура в ваннах обработки в органических растворителях: ≤75 °С
  • Время нагрева ванн обработки в органических растворителях до рабочей температуры: ≤40 мин
  • Время непрерывной работы: ≥8 час
  • Электроэнергия: 220 В, 1ф, 50 Гц, 2,5 кВт