Установки отмывки кассет, боксов CBC 200 и Foup+Fosb FFC 300

Системы отмывки CBC 200 и FFC 300 являются универсальными системами для отмывки и сушки всех существующих типов кассет и боксов (SMIF, открытые кассеты, FOUP, FOSB, RSP и подложки для чипов).

Изделия отмываются горячей деионизованной водой, как опция возможна добавка детергента. Дополнительный вращающийся распылительный клапан очищает внутреннюю часть FOUP. Изделия равномерно высушиваются вращением в потоке горячего воздуха, фильтруемого через HEPA фильтры. Технология обеспечивает превосходное качество отмывки и сушки.

Преимущества:

  • отличные характеристики,
  • низкая стоимость эксплуатации.

Опции:

  • интерфейс SECS/GEM,
  • стандарт FM 4910,
  • система RFID.

к списку

Scroll Up