Камера травления

Камера травления является широко используемым аналитическим инструментом для определения того, была ли поверхность кремниевой пластины загрязнена металлическим веществом. Камера также может использоваться в сочетании с автоматическими и неавтоматическими сканерами.

Камера подходит для пластин любых размеров до 12” (300 мм).

Корпус камеры изготовлен из чистых синтетических материалов высокого качества (PVDF, PTFE).

Камера оснащена системой нагрева и охлаждения пластин.

Применение:

  • анализ загрязненности процессов
  • Манипулирование пластинами
  • Очистка пластин

к списку

Scroll Up