TSE-SYSTEME GmbH
Установки жидкостной химической обработки с ручным управлением MWB
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2020/12/Установки-жидкостной-химической-обработки-с-ручным-управлением-MWB-150x137.jpg)
MWB — это система, которая предназначена для использования в типичных процессах очистки и травления в оптике, а также в полупроводниковой и солнечной энергетике. Модульная конструкция и возможность гибкой настройки и подключения дополнительных аксессуаров позволяет интегрировать очень сложные процессы в промышленности и исследовательских институтах. Системы MWB изготавливаются из высококачественного пластика (полипропилена) и обеспечивают безопасную рабочую среду при работе с кислотами и основаниями.
Установки жидкостной химической обработки с полуавтоматическим управлением SWB
SWB — это система обработки, предназначенная для использования в типичных процессах очистки и травления в оптике, а также в полупроводниковой и солнечной энергетике. Ее модульная конструкция позволяет интегрировать очень сложные процессы.
Система изготавливается из высококачественного пластика и позволяет, очищать различные детали (например, загрязненные части имплантера) с помощью обработки жидкими химикатами с использованием ультразвука. Поскольку эти детали, как правило, очень тяжелые, в стенде встроено подъемное устройство с электроприводом для их подъема в бак.
Установки жидкостной химической обработки с автоматическим управлением AWB
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2020/12/Установки-жидкостной-химической-обработки-с-автоматическим-управлением-AWB-150x132.jpg)
AWB — это система обработки, предназначенная для использования в типичных процессах очистки и травления в оптике, а также в полупроводниковой и солнечной энергетике. Ее модульная конструкция позволяет интегрировать очень сложные процессы.
Полностью автоматизированные процессы обработки в ваннах гарантируют безопасную и надежную обработку. Установка позволяет обрабатывать до 6 кассет одновременно для образцов с размерами до 5,7 «x 7,2», перемещая их как в горизонтальной, так и в вертикальной плоскостях.
Очиститель кварцевых труб и кварцевых деталей (вертикальный/горизонтальный) VTC / HTC
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2020/12/Очиститель-кварцевых-труб-и-кварцевых-деталей-вертикальный-горизонтальный-VTC-HTC-150x82.jpg)
Система предназначена для отмывки кварцевых труб и частей оборудования.
Доступен дизайн оборудования как в вертикальном исполнении, так и в горизонтальном с учетом всех требований потребителя.
Очистители VTC / HTC имеют специальные распылительные насадки с вращающимся механизмом, которые гарантируют двустороннюю очистку кварцевых трубок, колпаков и других кварцевых устройств с использованием соответствующих адаптеров. Рециркуляция химикатов обеспечивает их минимальное потребление. Накопительная емкость для химикатов с насосом для их смешивания и рециркуляции находится в нижней части установки. Управление установкой осуществляется посредством сенсорного экрана и набором программ и рецептур отмывки изделий, что обеспечивает оператору простой и быстрый выбор программы. Вертикальный очиститель позволяет чистить трубки диаметром до 700 мм и высотой до 2000 мм. Горизонтальная модель позволяет чистить кварцевые трубки диаметром до 300 мм и длиной до 3200 мм.
Универсальная установка очистки и отмывки с фильтрацией воздуха и вытяжкой Digestorium
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2020/12/Универсальная-установка-очистки-и-отмывки-с-фильтрацией-воздуха-и-вытяжкой-Digestorium-150x121.jpg)
Digestorium – это система жидкостной химической обработки, которая предназначена для использования в типичных процессах очистки и травления в полупроводниковой промышленности и солнечной энергетике. Все процессы происходят в безопасной зоне. С трех сторон рабочая зона ограничена непроницаемыми стенками, а передняя часть представляет собой автоматическое раздвижное окно. Это позволяет обеспечивать безопасное проведение даже критических химических процессов. Возникающие в процессе обработки пары и газы удаляются через вытяжную систему для защиты операторов и имущества лаборатории.
Установка отмывки пластин методом распыления WSC
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2020/12/Установка-отмывки-пластин-методом-распыления-WSC-150x220.jpg)
WSC – это система жидкостной химической обработки, предназначенная для использования в типичных процессах очистки и травления в полупроводниковой и солнечной энергетике. Чтобы гарантировать эффективную очистку, подложки вращаются во время процесса чистки. Стандартная конфигурация предназначена для пластин диаметром 4″, 5″, 6″и 8″.
Установки отмывки кассет, боксов CBC 200 и Foup+Fosb FFC 300
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2020/12/Установки-отмывки-кассет-боксов-150x189.jpg)
Системы отмывки CBC 200 и FFC 300 являются универсальными системами для отмывки и сушки всех существующих типов кассет и боксов (SMIF, открытые кассеты, FOUP, FOSB, RSP и подложки для чипов). Изделия отмываются горячей деионизованной водой, как опция возможна добавка детергента. Дополнительный вращающийся распылительный клапан очищает внутреннюю часть FOUP. Изделия равномерно высушиваются вращением в потоке горячего воздуха, фильтруемого через HEPA фильтры. Технология обеспечивает превосходное качество отмывки и сушки.
Вытяжные химические шкафы
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2020/12/Вытяжные-химические-шкафы-150x98.jpg)
Рабочие станции изготовлены из высококачественного пластика и разработаны индивидуально по техническому заданию заказчиков. Станции оснащены дополнительными компонентами индивидуально и оборудованы для удовлетворения потребностей клиентов. Они могут быть изготовлены без металлических компонентов по запросу заказчика.
Камера травления
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2020/12/Камера-травления-150x95.jpg)
Камера травления является широко используемым аналитическим инструментом для определения того, была ли поверхность кремниевой пластины загрязнена металлическим веществом. Камера также может использоваться в сочетании с автоматическими и неавтоматическими сканерами.
Камера подходит для пластин любых размеров до 12” (300 мм).
Корпус камеры изготовлен из чистых синтетических материалов высокого качества (PVDF, PTFE). Камера оснащена системой нагрева и охлаждения пластин.
Система распределения подачи химикатов CDS
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2020/12/Система-распределения-подачи-химикатов-CDS-150x108.jpg)
Эта система питания позволяет безопасно работать с кислотами, основаниями и растворителями в соответствии с государственными стандартами безопасности (как в § 19 I WHG).
Система изготавливается в различных конфигурациях в зависимости от использования, для контейнеров емкостью 60 л, 100 л, 200 л и 1000 л. Контейнер подключается через переходник к корпусу. Все опасные вещества доставляются через мембранный насос и двухтрубную систему, которая должна быть установлена в здании.
Система сбора отработанных химикатов WCCS
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2020/12/Система-сбора-отработанных-химикатов-WCCS-150x92.jpg)
Система утилизации позволяет безопасно собирать и хранить химические вещества, которые не должны попадать в сточные воды. WCCS соответствует требованиям, установленным в § 19 I WHG. Система изготавливается в различных конфигурациях с контейнерами емкостью от 20 л до 1000 л. Резервуар, содержащий химикаты, может быть безопасно подключен к инженерным системам предприятия для сбора химикатов и вытяжной вентиляции с помощью соответствующих адаптеров.
Системы смешивания химикатов
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2020/12/Системы-смешивания-химикатов-150x104.jpg)
Система смешивания предназначен для разбавления химикатов путем добавления DI-H2O до любой заданной с помощью системы управления концентрации. В системе используются датчики, дозирующий бак и дозирующий насос или расходомер. Желаемая конечная концентрация может быть перенастроена в любое время. Система изготавливается в различных конфигурациях для контейнеров различной емкости.
Системы распределения химикатов POU-Box
![](https://ckto-promproekt.ru/new/wp-content/uploads/2020/12/Системы-распределения-химикатов-POU-Box-150x113.jpg)
POU-Box – это система распределения химикатов по различным устройствам. Она соответствует высоким стандартам производства полупроводников и включает в себя датчик утечки. Количество входов и выходов может быть сконфигурировано в зависимости от количества используемых химикатов и количества устройств-потребителей. Вся распределительная арматура располагается в защитном кожухе.