АО «НИИТОП»

Комплекс технохимии

  • Комплект  оборудования  для технохимической обработки подложек
  • Применение: для групповой кассетной химической обработки поликоровых пластин / подложек в производстве микрополосковых плат
  • Состав комплекса: линия химического осаждения золота; линия подготовки поверхности меди перед нанесением фоторезиста на проводниковые слои и перед золочением; линия травления резистивных слоев; линия химической подготовки подложек перед напылением резистивных и проводниковых слоев; линия предварительной химической подготовки подложек перед напылением
  • Подложки: 24х15 мм, 30х24 мм, 20х48 мм, 48х30 мм, 60х48 мм
  • Емкость фторопластовых кассет с вертикальным расположением подложек: 24х15 – 80 шт., 30х24 – 30 шт., 20х48 – 20 шт., 48х30 – 30 шт., 60х48 – 20 шт.
  • Количество фторопластовых кассет с вертикальным расположением подложек: по 10 шт. каждого типоразмера
  • Емкость фторопластовых кассет с горизонтальным расположением подложек: 24х15 – 8 шт., 30х24 – 3 шт., 20х48 – 4 шт., 48х30 – 4 шт.

УНФ-1

  • Установка нанесения позитивного фоторезиста для мелкосерийного производства и НИОКР
  • Применение: для нанесения позитивного фоторезиста на подложки методом центрифугирования
  • Варианты применения: автономно или в составе линии
  • Подложки: 60?48 мм, 48?30 мм, 48?20 мм, 30?24 мм, 24?15 мм
  • Набор сменных столиков
  • Частота вращения вала: (0?3500) об/мин
  • Дискретность задания скорости: ±1 об/мин

УНФ-2

  • Установка нанесения негативного фоторезиста для мелкосерийного производства и НИОКР
  • Применение: для нанесения негативного фоторезиста на подложки методом центрифугирования
  • Варианты применения: автономно или в составе линии
  • Подложки: 60?48 мм, 48?30 мм, 48?20 мм, 30?24 мм, 24?15 мм
  • Набор сменных столиков
  • Частота вращения вала: (0?3500) об/мин
  • Дискретность задания скорости: ±1 об/мин
  • Точность поддержания скорости вращения: ±1 %
  • Количество каналов подачи фоторезиста: 1 шт.
  • Диапазон дозирования фоторезиста: (0,5?10,0) мл
  • Точность дозирования: ±0,2 мл
  • Диапазон задания времени цикла: (1?999) с
  • Сжатый воздух по ГОСТ 17433: 3 кгс/см2, ?14 м3/ч
  • Электроэнергия: 220 В, 1 ф, 50 Гц, 1 кВА
  • Габаритные размеры: 850?750?1400 мм
  • Масса: ?200 кг   

УПФ-1

  • Установка проявления позитивного фоторезиста для мелкосерийного производства и НИОКР
  • Применение: для проявления фоторезиста на подложки методом центрифугирования
  • Варианты применения: автономно или в составе линии
  • Подложки: 60?48 мм, 48?30 мм, 48?20 мм, 30?24 мм, 24?15 мм
  • Набор сменных столиков
  • Частота вращения вала: (0?3500) об/мин
  • Дискретность задания скорости: ±1 об/мин
  • Точность поддержания скорости вращения: ±1 %
  • Количество каналов подачи проявителя: 1 шт.
  • Диапазон дозирования проявителя: (1?120,0) мл
  • Точность дозирования: ±0,2 мл
  • Количество каналов подачи деионизованной воды: один
  • Диапазон дозирования деионизированной воды: (100?300,0) мл
  • Точность дозирования деионизированной воды: (10?50,0) мл
  • Диапазон задания времени цикла: (1?999) с
  • Сжатый воздух по ГОСТ 17433: 3 кгс/см2, ?14 м3/ч
  • Слив в канализацию
  • Электроэнергия: 220 В, 1 ф, 50 Гц, 1 кВА
  • Габаритные размеры: 850?750?1400 мм
  • Масса: ?200 кг

УПФ-2

  • Установка проявления негативного фоторезиста для мелкосерийного производства и НИОКР
  • Применение: для проявления фоторезиста на подложки методом центрифугирования
  • Варианты применения: автономно или в составе линии
  • Подложки: 60?48 мм, 48?30 мм, 48?20 мм, 30?24 мм, 24?15 мм
  • Набор сменных столиков
  • Частота вращения вала: (0?3500) об/мин
  • Дискретность задания скорости: ±1 об/мин
  • Точность поддержания скорости вращения: ±1 %
  • Количество каналов подачи проявителя: 1шт.
  • Диапазон дозирования проявителя: (1?120,0) мл
  • Точность дозирования: ±0,2 мл
  • Количество каналов подачи изопропилового спирта: один
  • Диапазон дозирования изопропилового спирта: (100?300,0) мл
  • Точность дозирования изопропилового спирта: (10?50,0) мл
  • Диапазон задания времени цикла: (1?999) с
  • Сжатый воздух по ГОСТ 17433: 3 кгс/см2, ?14 м3/ч
  • Электроэнергия: 220 В, 1 ф, 50 Гц, 1 кВА
  • Габаритные размеры: 850 м750?1400 мм
  • Масса: ?200 кг