• Типовые ванны: ванна химической обработки, «стоп-ванна», ванна финишной отмывки, ванна отмывки держателей и кассет
• Типовые составы модулей из 6 л ванн: Тип 1 (стандарт 1) – ванна химической обработки, «стоп-ванна», ванна финишной отмывки; Тип 2 (стандарт 2) – ванна химической обработки, «стоп-ванна», ванна химической обработки; Тип 3 (отмывка) – «стоп-ванна», ванна финишной отмывки, ванна отмывки держателей и кассет.
• Типовые составы модулей из (20 ÷ 30) л ванн: Тип 1 (стандарт) – ванна химической обработки, «стоп-ванна»; Тип 2 (отмывка 1) – «стоп-ванна», ванна финишной отмывки; Тип 3 (отмывка 2) – ванна финишной отмывки, ванна отмывки держателей и кассет
• Состав линии и модулей определяется техпроцессом и требованиями Заказчика
• Ванны с крышками: фторопластовые – для обработки в химреактивах, полипропиленовые — для отмывки в деионизованной воде
• Все рабочие ванны с нагревателями (во фторопластовой оболочке) оснащены датчиками уровня и температуры
• Контроль качества отмывки пластин в деионизованной воде (по удельному электрическому сопротивлению) производится с помощью кондуктометрического датчика, расположенного в кармане перелива
• Фильтрация растворов при заполнении ванн, возможность организации рецикла рабочих сред
• Блок подготовки и подачи химических реактивов обеспечивает автоматическое заполнение ванн, поддержание уровня и слив отработанных химических реактивов в емкости для транспортировки на утилизацию
• Азотная завеса для защиты от паров химикатов из ванн
• Фильтр-вентиляционный модуль подачи ламинарного потока воздуха в каждый модуль 
• Сжатый воздух
• Деионизованная вода: марка А (ОСТ 11 029 003-80)
• Вытяжная кислотная вентиляция
• Электроэнергия: 380 В ±10%, 3ф, 50 Гц ±2,5%

• Вспомогательные блоки: блок подготовки и подачи химических реактивов –  4 шт.; пневмо-гидросистема – 1 шт.; блок подготовки и подачи ламинарного потока очищенного воздуха (фильтр-вентиляционный модуль) – 4 шт.; блок управления – 1 шт.; блок трансформаторов для нагревателей в ваннах химобработки – 1шт.; силовой блок (включая трансформаторы для электропитания погружных нагревателей в ваннах химобработки) – 1 шт.
• Количество кассет в ванне: 1 (емкость – 25 шт.)
• Ручная загрузка–выгрузка кассет с пластинами и их перемещение между ваннами
• Управление установкой: ручное
• Все рабочие ванны с низковольтными нагревателями (во фторопластовой оболочке) оснащены датчиками уровня и температуры, стойкими к воздействию агрессивных сред
• Напряжение электропитания погружного фторопластового нагревателя: (12÷48)В          
• Мощность нагревателей в ваннах  для химической обработки: 1,8 кВт    
• Диапазон регулирования температуры реагентов в ваннах для  химической обработки: (50÷140) ±2 °С
• Контроль качества отмывки пластин в деионизованной воде (по удельному электрическому сопротивлению) производится с помощью кондуктометрического датчика
• Фильтрация растворов при заполнении ванн, возможность организации рецикла рабочих сред
• Мобильный блок подачи химических реактивов обеспечивает полуавтоматическое заполнение ванн
• Специальный насос для удаления отработанного химического раствора из ванн химобработки в кислотно-щелочную канализацию или в спецёмкости для сбора отработанного химреактива
• Время быстрого слива реагента из стоп-ванны: <10 с
• Сжатый воздух
• Деионизованная вода: марка А (ОСТ 11 029 003-80)
• Вытяжная кислотная вентиляция
• Электроэнергия: 380 В ±10%, 3ф, 50 Гц ±2,5%, 35 кВт
• Габаритные размеры: технологический модуль – 3400х1000х1800 мм, блок подготовки и подачи химических реактивов – 500х440х925 мм, блок трансформаторов – 840х500х640 мм
• Масса установки и её составных частей: 1200 кг  

• Ручная загрузка–выгрузка кассет с пластинами и их перемещение между ваннами
• Напряжение электропитания погружного фторопластового нагревателя: 24В    
• Мощность 2-х нагревателей в ванне  для химической обработки: 0,5 кВт               
• Диапазон регулирования температуры реагентов в ваннах для  химической обработки: (30÷140) ±1°С
• Приборы для измерения и регулирования температуры химического раствора: 3шт.
• Контроль качества отмывки пластин в деионизованной воде (по удельному электрическому сопротивлению) производится с помощью кондуктометрического датчика
• Прибор «Сириус» для измерения проводимости деионизованной воды: 1шт.
• Эжектор для удаления отработанного химического раствора из ванн химобработки в кислотно-щелочную канализацию
• Азотная завеса для защиты от паров химикатов из ванн
• Сжатый воздух
• Деионизованная вода: марка А (ОСТ 11 029 003-80)
• Вытяжная кислотная вентиляция
• Электроэнергия: 380 В ±10%, 3ф, 50 Гц ±2,5%, 25 кВт
• Габаритные размеры линии: 2400х1150х2100 мм
• Масса установки и её составных частей: 1870 кг  

• Ванна химической обработки со специальным кожухом для рециркуляции дополнительного потока нагретой кремнийорганической жидкости и с водоохлаждаемыми нержавеющими полукрышками (для конденсации паров органического растворителя и стекания обратно в ванну)
• Нагрев органического растворителя – посредством рециркуляции потока через теплообменник, размещенный в объеме кремнийорганической жидкости, нагретой спиральным фторопластовыми погружными нагревателями
• Нагрев, фильтрация и рециркуляция органического растворителя – в специальном блоке
• Фильтрация органического растворителя – посредством рециркуляции потока через титановый или нержавеющий картриджи (спеченные)
• Промывка деионизованной водой в «стоп-ванне»: душ, объемная промывка, быстрый слив
• Промывка деионизованной водой в ванне промывки: в проточной воде
• Контроль качества промывки в ванне финишной промывки
• Количество кассет (емкость – 11шт.) в ванне: 6 шт.
• Ручная загрузка–выгрузка кассет с подложками и их перемещение между ваннами
• Диапазон регулирования температуры реагентов в ванне для  химической обработки: (30÷140) ±2 °С
• Азотная завеса для защиты от паров химикатов из ванны химической обработки
• Приточно-вытяжная вентиляция
• Электроэнергия: 380 В ±10%, 3ф, 50 Гц ±2,5%, 10 кВт
• Габаритные размеры: 2200х1200х2035 мм

• Вспомогательные блоки: блок подачи химических реактивов –  3 шт.; блок нагрева деионизованной воды – 3 шт.; блок подачи очищенного воздуха – 2 шт.; прибор для изменения и регулировки температуры химического раствора – 3 шт. ; устройство для измерения  проводимости деионизованной воды и водородного показателя pH – 1 шт.; сенсорная панель управления – 1 шт.
• Количество кассет (емкость – 25 шт.) в ванне: ø100 мм – 2 шт., ø150 мм – 1 шт.
• Ручная загрузка–выгрузка кассет с пластинами и их перемещение между ваннами
• Все рабочие ванны с низковольтными нагревателями (во фторопластовой оболочке) оснащены датчиками уровня и температуры, стойкими к воздействию агрессивных сред
• Напряжение электропитания погружного фторопластового нагревателя: (12÷48)В          
• Мощность нагревателей в ваннах  для химической обработки: 1,8 кВт    
• Диапазон регулирования температуры реагентов в ваннах для  химической обработки: (40÷140) ±2 °С
• Диапазон регулирования температуры деионизованной воды блоком нагрева: (40÷60) °С
• Длительность одного цикла обработки с дискретностью 1 мин: в фторопластовой ванне (1÷99) мин, в «стоп-ванне» (1÷20) мин, в ванне промывки (1÷30) мин
• Количество циклов обработки в «стоп-ванне»: (1÷7) шт
• Контроль качества отмывки пластин в деионизованной воде (по удельному электрическому сопротивлению) производится с помощью кондуктометрического датчика
• Мобильный блок подачи химических реактивов обеспечивает полуавтоматическое заполнение ванн
• Специальный насос для удаления отработанного химического раствора из ванн химобработки в кислотно-щелочную канализацию или в спецёмкости для сбора отработанного химреактива
• Время быстрого слива реагента из «стоп-ванны»: <10с
• Азотная завеса для защиты от паров химикатов из ванн
• Деионизованная вода: марка А (ОСТ 11 029 003-80)
• Вытяжная кислотная вентиляция
• Электроэнергия: 380 В ±10%, 3ф, 50 Гц ±2,5%
• Размещение установки: помещения классов Р5(100) и Р4(10) по ГОСТ ИСО 14644-1-2002 (10) по ГОСТ Р50766-95
• Габаритные размеры: технологический модуль – 2552х930х2362мм

• Центрифуга с планшайбой для размещения и фиксации фотошаблонов всех трех типоразмеров – на планшайбе единовременно может размещаться только один фотошаблон
• Пистолет-распылитель для подачи деионизованной воды в ванну промывки
• Пистолет-распылитель для профилактической промывки ванн химической обработки и внутреннего пространства модуля деионизованной водой
• Пистолет для подачи азота для технологической операции обдува фотошаблонов азотом при сушке
• Одна из позиций для установки ванны обработки с подсветкой для контроля процесса
• Азот газообразный
• Деионизованная вода: марка А (ОСТ 11 029 003-80)
• Вытяжная вентиляция
• Электроэнергия

• Линейный робот для автоматического операционного и межоперационного движения кассеты с кварцевыми деталями в линии
• Специальные фторопластовые кассеты для групповой обработки кварцевых деталей
• Предусмотрено душирование кассеты с кварцевыми деталями из распылителей деионизованной водой
• Диапазон регулирования температуры реагентов в ваннах для  химической обработки: (18÷80) ±2 °С
• Контроль качества отмывки пластин в деионизованной воде (по удельному электрическому сопротивлению) производится с помощью кондуктометрического датчика
• Блок подачи химических реактивов: автоматическое заполнение ванн и поддержание уровня, приемо-возвратная перекачка химического реактива в ходе технологического процесса, слив отработанных химических реактивов в емкости для транспортировки на утилизацию
• Фильтрация растворов при заполнении ванн
• Предусмотрен режим скоростного слива раствора кислот из ванны химической обработки в промежуточную ёмкость
• Время быстрого слива реагента из ванны химической обработки: <10 с
• Время быстрого слива из стоп-ванны: <10 с
• Количество позиций инфракрасной сушке в потоке азота: 1
• Сжатый воздух
• Газообразный азот
• Деионизованная вода: марка А (ОСТ 11 029 003-80)
• Вытяжная вентиляция
• Электроэнергия: 380 В ±10%, 3ф, 50 Гц ±2,5%
• Габаритные размеры: 5680х1520х2300 мм           

• Сжатый воздух
• Газообразный азот
• Деионизованная вода: марка А (ОСТ 11 029 003-80)
• Вытяжная вентиляция
• Электроэнергия: 380 В ±10%, 3ф, 50 Гц ±2,5%
• Габаритные размеры: 2605х1800х2340 мм       
• Масса: 1150 кг

• Сжатый воздух
• Газообразный азот
• Температура нагрева газообразного азота: ≤ 70 ºС        
• Деионизованная вода марки А (ОСТ 11 029 003-80), производительность бокса подготовки и подачи деионизованной воды: ≤300 л/ч
• Диапазон регулирования температуры деионизованной воды: (20÷65) °С                           
• Вытяжная вентиляция
• Электроэнергия модуля: 380 В ±10%, 3ф, 50 Гц ±2,5%, ≤ 50 кВт
• Габаритные размеры: модуля – ≤2700х1200х2000 мм, бокса подготовки и подачи деионизованной воды – ≤900х800х2000 мм, блока электропитания – ≤900х430х1400 мм
• Масса модуля: ≤900 кг

• Система управления (с программным обеспечением) установки для смешивания и распределения кислот: совместима и адаптирована с системой управления (с программным обеспечением) автоматизированной линии химической обработки, на которую осуществляется подача реактива
• Пневмопанель: для приема сжатого воздуха, приема управляющих пневмосигналов от пневмоклапанов с электронным управлением, формирования управляющих пневмосигналов для пневматических мембранных насосов
• Количество защитных операционных перачаток  : 4 пары     

• Манипулятор для перемещения кассет с пластинами по заданному маршруту обработки
• Система управления на базе промышленного ПК: непрерывный мониторинг технологических параметров, диагностика состояний всех модулей и систем комплекса
• Автоматизированные системы поддержания уровня рабочих реактивов, промежуточной регенерации и дозирования
• Фильтры со сменными картриджами для очищения растворов
• Аварийная сигнализация об утечке рабочих жидкостей
• Максимальная доля металлизированной площади поверхности от всей площади пластины: 20%
• Линейные размеры контактной площадки: >40 мкм
• Толщина покрытия никеля: ≤4 мкм
• Толщина сплошного покрытия золота: ≤0,1мкм
• Количество рабочих ванн: 15 шт.
• Позиция сушки пластин: 1шт.
• Точность поддержания температуры: ±1 °С
• Длительность обработки 1 партии пластин при непрерывной работе: ≤90 мин
• Время обработки в каждой ванне/позиции: (1÷999) с
• Прозрачные панели с передней стороны комплекса
• Сжатый воздух
• Газообразный азот
• Деионизованная вода: марка А (ОСТ 11 029 003-80)
• Вытяжная вентиляция над загрузочным и рабочими модулями
• Электроэнергия: 380 В ±10%, 3ф, 50 Гц ±2,5%, 85
• Габаритные размеры: 9800х1400х2400 мм
• Масса: 1500 кг

• Подложки: круглые пластины ø76 мм, ø100 мм, ø150 мм; прямоугольные пластины – от 48×60 мм до 102×102 мм
• Диапазон задания скорости вращения: (10÷6000) об\мин с дискретностью задания скорости 1 об\мин и точностью поддержания скорости вращения ±5 об\мин
• Диапазон задания ускорения: (100÷20000) об\мин\с с дискретностью задания ускорения 100 об\мин\с
• Диапазон регулирования температуры фоторезиста: (18÷50) ±0,1 ºС
• Диапазон задания времени обработки: (1,0÷999) с, дискретность задания времени обработки – 1,0 с
• Диапазон дозирования фоторезиста: (0,5÷5,0) мл с точностью дозирования ±0,1мл
• Диапазон задания температуры «горячей плиты»: (70÷200) ºС с точностью поддержания температуры «горячей плиты» при (70÷120) ºС – ±0,3 ºС, при (120÷150) ºС – ±0,5 ºС, при (150÷200) ºС – ±1,0 ºС
• Привносимая дефектность для частиц размером > 0,2 мкм: <0,05 деф/см²
• Система управления на базе микроконтроллера с выводом информации на текстовый дисплей обеспечивает: диагностику работоспособности установки; хранение в памяти ≥5 программ циклов обработки; мониторинг и регулирование технологического процесса в реальном масштабе времени; автоматическое поддержание технологических параметров по заданной программе; обеспечение стабильности и воспроизводимости параметров; возможность аварийного отключения установки
• Очищенный сжатый воздух: (0,4÷0,6) МПа
• Вакуум: ≤350 мм.рт.ст.
• Техническая вода: ≤(14÷16) ºС
• Вытяжная вентиляция: ≥50 м³/ч
• Электроэнергия: 220 В, 1 ф, 50 Гц, 2,5 кВт
• Габариты установки: 1200×630×2200 мм
• Опционно: бокс обеспыливания

• Рабочая частота мегазвукового генератора: 1,65 МГц
• Мощность мегазвукового генератора: 50 Вт
• Скорость вращения ротора центрифуги: (50÷6000) об\мин с точностью поддержания скорости вращения ±1 об\мин
• Ускорение вращения ротора центрифуги: (10÷30000) об\мин\с
• Диапазон регулирования температуры фоторезиста: (18÷50) ±0,5 ºС
• Диапазон вязкости фоторезиста: (1,0÷55,0) сСт
• Диапазон задания времени обработки: (1÷999) с
• Диапазон дозирования фоторезиста: (0,5÷5,0) мл
• Диапазон поддержания температуры «горячей плиты»: (0÷200) ºС с точностью поддержания температуры «горячей плиты» ±0,5 ºС
• Равномерность температуры по плите: ± 0,5 ºС
• Величина зазора, на котором проводится термообработка: (0÷0,15) мм
• Степень разряжения в камере: ≤250 мм.рт.ст.
• Максимальный состав одного трека: загрузчик, приёмник и три технологических устройства
• Минимальный состав одного трека: загрузчик, приёмник и одно технологическое устройство
• Многоуровневая система управления: непрерывный мониторинг технологических параметров, диагностика состояний механизмов и систем
• Очищенный сжатый воздух
• Техническая вода
• Вытяжная вентиляция
• Электроэнергия: 380/220 В, 50 Гц, 7,5 кВт
• Габариты установки: 2680×760×1330 мм

• Диапазон дозирования фоторезиста: (0,5÷5,0) мл
• Очищенный сжатый воздух
• Вакуум
• Техническая вода
• Вытяжная вентиляция
• Электроэнергия: 380/220 В, 50 Гц, 2,5 кВт
• Габариты установки: 905×459×1090 мм

• Количество шаблонов в кассете: 20 шт.
• Диапазон времени выполнения каждой операции: (1÷999) с
• Диапазон времени подачи раствора на блоке гидромеханической обработки: (1÷99)c
• Тип мегазвукового излучателя: пьезокерамический
• Частота мегазвуковой обработки: 1,65 мГц
• Диапазон регулирования угловой скорости вращения ротора центрифуги:

   (300÷3000) об/мин

• Диапазон регулирования температуры плиты на блоке сушки: (80÷120) ºС
• Дополнительный механизм подъема фотошаблона на позиции сушки
• Два транспортера для устранения зависимости выполнения операций друг от друга
• Многоуровневая  система  управления  на базе микропроцессора: непрерывный мониторинг технологических параметров, диагностика состояния механизмов и систем
• Очищенный сжатый воздух
• Вытяжная вентиляция
• Электроэнергия: 380/220 В, 50 Гц, 3,2 кВт
• Габариты установки: 1642×940×1190 мм
• Опционно: зона обеспыливания

• Диапазон времени подачи раствора на блоке гидромеханической обработки: (1÷99)c
• Тип мегазвукового излучателя: пьезокерамический
• Частота мегазвуковой обработки: 1,65 мГц
• Диапазон регулирования угловой скорости вращения ротора центрифуги:

   (300÷3000) об/мин

• Диапазон регулирования температуры плиты на блоке сушки: (80÷120) ºС
• Многоуровневая система управления: непрерывный мониторинг технологических параметров, диагностика состояния механизмов и систем, гибкое программирование технологического процесса
• Очищенный сжатый воздух
• Азот
• Деионизованная вода
• Вытяжная вентиляция
• Электроэнергия: 380/220 В, 50 Гц, 3,2 кВт
• Габариты установки: 1420×975×1190 мм
• Опционно: зона обеспыливания

• Количество шаблонов в кассете: 20 шт.
• Диапазон времени выполнения каждой операции: (1÷999) с
• Диапазон времени подачи раствора на блоке гидромеханической обработки: (1÷99) c
• Тип мегазвукового излучателя: пьезокерамический
• Частота мегазвуковой обработки: 1,65 мГц
• Диапазон регулирования угловой скорости вращения ротора центрифуги:

   (300÷3000) об/мин

• Диапазон регулирования температуры плиты на блоке сушки: (80÷120) ºС
• Дополнительный механизм подъема фотошаблона на позиции сушки
• Два транспортера для устранения зависимости выполнения операций друг от друга
• Многоуровневая  система  управления  на базе микропроцессора: непрерывный мониторинг технологических параметров, диагностика состояния механизмов и систем
• Очищенный сжатый воздух
• Азот
• Деионизованная вода
• Вытяжная вентиляция
• Электроэнергия: 380/220 В, 50 Гц, 3,2 кВт
• Габариты установки: 1642×940×1190 мм
• Опционно: зона обеспыливания