Trion Technology Minilock PVD (PVD)

  • Установка магнетронного распыления (напыления) в микроэлектронике для НИОКР и мелкосерийного производства
  • Назначение: напыление слоев металлов или диэлектриков
  • Вакуумный загрузочный шлюз
  • Источники рапыления: постоянного тока или ВЧ
  • Вакуумная система
  • Система управления: компьютерная

к списку

Scroll Up