Plasma-Therm

Plasma-Therm QuaZar (Pinnacle) Systems (IBE/IBD)

  • Установки ионнолучевого травления и осаждения
  • Назначение: осуществление процессов прецезионного осаждения и травления слоев матераилов при изготовлении современной магниторезистивной памяти с произвольным доступом
  • Варианты конфигураций: однокамерные модули с реакторами ионнолучевого травления или осаждения; кластеры, объединяющие в своем составе от одного до трех модулей травления, осаждения или комбинации модулей травления и осаждения
  • Загрузка: кассетная

далее


Plasma-Therm QuaZar Planetary IBE (IBE)

  • Высокопроизводительная установка ионнолучевого травления с технологией планетарного сканирования для серийного производства.
  • Технология планетарного сканирования – способность колебательно перемещать пластину через ионный пучок
  • Назначение: осуществление процессов травления при изготовлении магниторезистивной памяти с произвольным доступом (MRAM); фильтров поверхностно-аккустических волн (SAW), объемно-аккустических волн (BAW) и пленочных объемно-аккустических резонаторов (FBAR); оптических решеток, пьезоэлектрических МЭМС; для микроструктурирования и проведения анализ отказов
  • Подложки: от небольших образцов до пластин ø200 мм

далее

Scroll Up