KOREA VAC-TEC VTC-IBE-200-RF (IBE)

  • Установка ВЧ ионно-лучевого травления с загрузочным шлюзом
  • Подложки размером: до ø200 мм (большие размеры – по запросу потребителя)
  • Варианты загрузки: загрузка через загрузочный шлюз автоматическим роботом-манипулятором; по запросу потребителя – ручная загрузка
  • Подложкодержатель: вращающийся держатель с изменяемым углом наклона
  • Охлаждение подложки:
  • Термостабилизируемый подложкодержатель с водяным охлаждением и гелиевым охлаждением обратной стороны подложки
  • Сетчатый ВЧ источник ионного луча с нейтрализатором
  • Система откачки: турбомолекулярный насос с форвакуумным безмасляным насосом; криогенный насос  – по запросу потребителя
  • Процессные газы: возможность применения большого колическва разнообразных газов; регуляторы массового расхода
  • Управление установкой: полностью автоматическое управление

к списку

Scroll Up