KOREA VAC-TEC VTC-1350DP (PVD)

  • Установка вакуумного испарения (напыления) слоев оксидов в автоматическом режиме групповым методом (в т.ч. для оптики)
  • Назначение: нанесение оптических покрытий на линзы;  напыление оксидов (SiO2, Ta2O5, Al2O3, TiO2) на подложках из Ge/Si, а также двухслойных структур SiO2/Ta2O5 и Al2O3/TiO2
  • Объем загрузки: примерно 220 линз ø70 мм; 72 пластины ø100 мм; 45 пластины ø124 мм (для пластин в оснастке)
  • Время процесса для линз: около 35 мин (зависит от процесса и условий)
  • Типы наносимых покрытий: антиотражающие, антистатические, отражающие (зеркальные) и прочие (а также гидрофобные и супергидрофобные наружные покрытия)
  • Размер рабочей камеры: ø1350 мм
  • Материал рабочей камеры: нержавеющая сталь SUS 304
  • Источник испарения электронным лучом: 6 источников размером 25см3 каждый
  • Источник ионного луча: вариант с продольным ионному пучку магнитному полю (End hall) с горячим катодом
  • Источник термического испарения: лодочка
  • Держатель для линзы / подложки: вращающийся держатель купольного типа, разделенный на 3 сегмента (4 сегмента – по запросу потребителя); скорость вращения – (1÷50) об/мин
  • Система откачки: турбомолекулярный насос с форвакуумным центробежным лопастным насосом; диффузионный масляный насос или криогенный насос  – по запросу
  • Система откачки водяных паров: CRYO-6 с холодной ловушкой (-130°С)
  • Температура нагрева: для линз – до 150°С; для пластин –  до 350°С
  • Контроль толщины: кварцевая многосенсорная головка
  • Процессные газы: аргон и кислород, подаваемые через регуляторы массового расхода (другие газы – по запросу потребителя), давление – (1÷2) бар
  • Сухой очищенный сжатый воздух: 6 бар
  • Охлаждающая вода: 6 бар, 250 л/мин, (10÷25)°С
  • Управление установкой: полностью автоматическое управление
  • Электроэнергия: 380В, 3ф, 50/60Гц, 60кВт
  • Габариты: (3650×2600х2600) мм
  • Необходимое пространство для размещения установки: (5000х3800х3000) мм, включая пространство обслуживания

к списку

Scroll Up