KOREA VAC-TEC VTC-1200-СP (PVD)

• Установка металлизации (вакуумного электронно-лучевого напыления слоев металлов) в автоматическом режиме групповым методом
• Назначение: нанесение металлических слоев титана (Ti), золота (Au), серебра (Ag) на подложки А₃В₅
• Объем загрузки: 54 пластины ?100 мм
• Размер рабочей камеры: ?1200 мм, высота — ?1300 мм
• Материал рабочей камеры: нержавеющая сталь 08Х18Н10
• Электронно-лучевая пушка: водоохлаждаемый тигль с 6 источниками (желобами) объемом 25 см³ каждый; материал катода — вольфрамовая нить; заслонка, открываемая электронным пневмоприводом; отклонение луча — 270?; мощность источника питания с источником питания накала — 5 кВт; напряжение электронно-лучевой пушки – (6?10) кВ; анодный ток – (0?500) мА
• Источник ионного излучения c катодами скрытого типа: материал катода — вольфрамовая нить; автоматический контроль эмиссионного тока и нейтрализации; ток и напряжение на аноде – (0?5) A и (0?250) В; ток катода – (0?25) A
• Держатель для подложек: вращающийся держатель купольного типа, разделенный на 3 сегмента (4 сегмента – по запросу потребителя); скорость вращения – (1?50) об/мин
• Материал держателя: нержавеющая сталь 08Х18Н10
• Система откачки: криогенный насос, безмасляный винтовой насос, бустерный механический насос
• Система откачки водяных паров: CRYO-6 с холодной ловушкой (-130°С)
• Система нагрева подложек
• Температура нагрева: до 350°С
• Контроль толщины: кварцевая многосенсорная головка (6 кристаллов)
• Применяемые газы: аргон, азот, подаваемые через регуляторы массового расхода, давление – (1,5?2) бар
• Сухой очищенный сжатый воздух: 6 бар
• Охлаждающая вода: (5?6) бар, 80 л/мин, (10?25)°С
• Управление установкой: полностью автоматическое управление (предусмотрен ручной режим)
• Электроэнергия: 380В, 3ф, 50/60Гц, 60кВт
• Габариты: (3000×2500х3300) мм

к списку