KOREA VAC-TEC VTC 1100 PO (PVD)

  • Установка вакуумного испарения (напыления) групповым методом для прецизионной оптики
  • Электронная пушка – 2 комплекта с углом 270°: один – с 12 источниками (карманами) по 15 см3 каждый, второй – с карманом для твердой кремниевой мишени
  • ВЧ сетчатый источник ионного луча VTC-5: частота – 13,56 МГц, мощность – до 600 Вт, ионная энергия – до 7,5 кВ, ток – до 1 А. Диаметр сетки – 100 мм. Система автоматического согласования
  • Система откачки: диффузионный масляный насос, роторный механический насос,  бустерный механический насос
  • Насос для водяных паров: CRYO-6 с холодной ловушкой
  • Контроллер осаждения слоев с двойной кварцевой измерительной головкой с набором программ: 99 процессов, 999 характеристик слоев, 32 полные характеристики материалов
  • Полнстью цифровая система оптического мониторинга
  • Детектор – для видимого (до 900 нм) или ИК (от 700 до 2600 нм) диапазона. Выбор рабочей длины волны: ручной или автоматический
  • Процессные газы: аргон и кислород, подаваемые через регуляторы массового расхода (другие газы – по запросу потребителя)
  • Управление установкой: полностью автоматическое управление

к списку

Scroll Up