KOREA VAC-TEC VTC 1000 TO (PVD)

  • Установка вакуумного испарения (напыления) групповым методом для прецизионной оптики
  • Варианты размеров рабочей камеры: ø900 мм, ø1000 мм, ø1200 мм и ø1350 мм (другие размеры – по запросу потребителя)
  • Количество источников испарения электронным лучом: 2
  • Мощность источника испарения электронным лучом: 5 кВт (6 кВт и 10 кВт – по запросу потребителя)
  • Источник ионного луча: вариант с продольным ионному пучку магнитному полю (End hall) с горячим катодом (сетчатый или ВЧ сетчатый источники ионного луча – по запросу потребителя)
  • Источник термического испарения: лодочка с заслонкой, водоохлаждаемые электроды
  • Держатель для линзы: вращающийся держатель купольного типа, разделенный на 3 или 4 сегмента (наклоненный или ненаклоненный держатель с планетарным вращением – по запросу потребителя)
  • Система откачки: турбомолекулярный насос с форвакуумным центробежным лопастным насосом; диффузионный масляный насос или криогенный насос  – по запросу потребителя
  • Насос для водяных паров: CRYO-6 с холодной ловушкой
  • Температура нагрева: до 350°С
  • Контроль толщины: кварцевая многосенсорная головка
  • Оптический мониторинг: в проходящем или отраженном свете со стеклянным тестовым сменным устройством (доступный диапазон длины волны составляет 220нм~2,200 нм)
  • Процессные газы: аргон и кислород, подаваемые через регуляторы массового расхода (другие газы – по запросу потребителя)
  • Управление установкой: полностью автоматическое управление

к списку

Scroll Up