KOREA VAC-TEC ORION-90T (PVD)

  • Установка вакуумного испарения (напыления) групповым методом для оптики
  • Объем загрузки: примерно 84 линзы ø70 мм
  • Время процесса: около 30 мин (зависит от процесса и условий)
  • Типы наносимых покрытий: антиотражающие, антистатические, отражающие (зеркальные) и прочие (а также гидрофобные и супергидрофобные наружные покрытия)
  • Размер рабочей камеры: ø900 мм
  • Источник испарения электронным лучом: 6 источников размером 15 см3 каждый
  • Источник ионного луча: вариант с продольным ионному пучку магнитному полю (End hall) с горячим катодом
  • Источник термического испарения: лодочка
  • Держатель для линзы: вращающийся держатель купольного типа, разделенный на 3 сегмента
  • Система откачки: турбомолекулярный насос с форвакуумным центробежным лопастным насосом; диффузионный масляный насос  – по запросу потребителя
  • Насос для водяных паров: CRYO-6 с холодной ловушкой
  • Температура нагрева: до 150°С
  • Контроль толщины: кварцевая многосенсорная головка
  • Процессные газы: аргон и кислород, подаваемые через регуляторы массового расхода (другие газы – по запросу потребителя)
  • Управление установкой: полностью автоматическое управление
  • Необходимое пространство для размещения установки: 4500 х 3500 х 2800 мм, включая пространство обслуживания

к списку

Scroll Up