KOREA VAC-TEC ORION-400 (PVD)

  • Установка вакуумного испарения (напыления) групповым методом для оптики
  • Объем загрузки: примерно 400 линз ø70 мм
  • Роботизированная система полуавтоматической загрузки-выгрузки держателя подложек
  • Типы наносимых покрытий: антиотражающие, антистатические, отражающие (зеркальные) и прочие (а также гидрофобные и супергидрофобные наружные покрытия)
  • Размер рабочей камеры: ø1800 мм
  • Установка может содержать до 3 электронных пушек
  • Варианты источников испарения электронным лучом: с 4 карманами по (7÷25) см3, с 6 карманами до 40 см3 каждый, с 3 карманами типа банан по 25 см3, с карманом лоткового типа по (190÷383) см3, с карманом типа поддона по (150÷343) см3     
  • Источник термического испарения
  • Держатель для линз: вращающийся алюминиевый держатель купольного типа, разделенный на 4 сегмента
  • Система откачки: диффузионный водоохлаждаемый насос,   роторный насос, бустерный насос
  • Насос для водяных паров: CRYO-6 с холодной ловушкой
  • Предельное давление вакуума: 1·10-6 торр
  • Система нагрева подложен с 6 инфракрасными излучателями и автоматической системой управления
  • Температура нагрева: до 300°С
  • Контроллер осаждения с набором программ: 99 процессов, 999 характеристик слоев, 32 полные характеристики
  • Контроль толщины: одно-, двух- или шести- кристаллов сенсорная головка (по запросу потребителя)
  • Процессные газы: аргон и кислород, подаваемые через регуляторы массового расхода (другие газы – по запросу потребителя)
  • Управление установкой: полностью автоматическое управление, компьютер с сенсорным дисплеем
  • Сухой очищенный сжатый воздух: (5÷6) кг/см2
  • Охлаждающая вода: (3÷5) кг/см2
  • Электроэнергия: 63кВт
  • Габаритные размеры: 6300 х 3800 х 3050 мм

к списку

Scroll Up