KOREA VAC-TEC In-Line TCO Sputter System (PVD)

  • Встроенная в технологическую линию установка напыления (распыления) прозрачного проводящего оксидного слоя для производства сенсорных панелей
  • Назначение: напыление прозрачного проводящего оксидного слоя  и антиотражающих покрытий на стеклянные подложки различных размеров
  • Рабочая камера прямоугольной формы. Материал рабочей камеры: нержавеющая сталь SUS 304
  • Система транспортировки подложки
  • Система нагрева подложки с нагревательным элементом в оболочке
  • Система магнетронного напыления: напыление постоянным током или импульсное напыление (для оксидных материалов)
  • Размер мишени: (250÷1600) мм
  • Газовая система
  • Система управления
  • Вакуумная система – варианты: на базе диффузионного насоса или турбонасоса или крионасоса (по требованиям заказчика)

к списку

Scroll Up