KOREA VAC-TEC In-Line Low Temperature Sputter System (PVD)

  • Встроенная в технологическую линию установка низкотемпературного напыления (распыления) для производства печатных плат
  • Назначение: напыление металлических слоев толщиной в несколько микрон на тонкие гибкие печатные платы с управлением температурой в течение процесса
  • Рабочая камера: модульной конструкции с вертикальной или горизонтальной ориентацией
  • Подложки: размеры – по запросу потребителя
  • Тип магнетронных катодов: одинарный плоский, сдвоенный плоский, одинарный вращающийся и сдвоенный вращающийся
  • Количество магнетронных катодов – по запросу потребителя
  • Температура нагрева: не более 150°С
  • Способы напыления металлов: низкотемпературное реактивное и нереактивное
  • Источник предварительной обработки: ионнолучевой источник и / или источник ВЧ плазмы
  • Система перемещения: кассетная транспортировка с линией возврата кассет
  • Система откачки: турбомолекулярный насос с форвакуумным безмасляным насосом; криогенный насос или комбинация  криогенного насоса и турбомолекулярного насоса  – по запросу потребителя
  • Управление установкой: полностью автоматическое управление

к списку

Scroll Up