KOREA VAC-TEC ERIDAN (PVD)

  • Компактная установка магнетронного напыления (распыления) с загрузочным шлюзом
  • Размер рабочей камеры: ø1300 мм (другие размеры – по запросу потребителя)
  • Подложки размером: до ø200 мм
  • Загрузка через кассетный загрузочный шлюз автоматическим роботом-манипулятором
  • Подложкодержатель: планетарный вращающийся держатель
  • Температура нагрева: до 350°С
  • Катод магнетрона: сдвоенный вращающийся с заслонкой (количество магнетронных катодов – по запросу потребителя)
  • Режимы распыления: реактивный, нереактиный, металлов
  • ВЧ источник плазмы с заслонкой
  • Количество напыляемых слоев: более 200
  • Система откачки: турбомолекулярный насос с форвакуумным безмасляным насосом; криогенный насос  – по запросу потребителя
  • Управление установкой: полностью автоматическое управление
  • Комплекс оптического мониторинга: контроль в широком диапазоне (доступный диапазон длины волны составляет 220нм~2,200 нм)

к списку

Scroll Up