KOREA VAC-TEC CO. LTD

KOREA VAC-TEC VTC 1000 TO (PVD)

  • Установка вакуумного испарения (напыления) групповым методом для прецизионной оптики
  • Варианты размеров рабочей камеры: ø900 мм, ø1000 мм, ø1200 мм и ø1350 мм (другие размеры – по запросу потребителя)
  • Количество источников испарения электронным лучом: 2
  • Мощность источника испарения электронным лучом: 5 кВт (6 кВт и 10 кВт – по запросу потребителя)

далее


KOREA VAC-TEC VTC 1100 PO (PVD)

  • Установка вакуумного испарения (напыления) групповым методом для прецизионной оптики
  • Электронная пушка – 2 комплекта с углом 270°: один – с 12 источниками (карманами) по 15 см3 каждый, второй – с карманом для твердой кремниевой мишени
  • ВЧ сетчатый источник ионного луча VTC-5: частота – 13,56 МГц, мощность – до 600 Вт, ионная энергия – до 7,5 кВ, ток – до 1 А. Диаметр сетки – 100 мм. Система автоматического согласования
  • Система откачки: диффузионный масляный насос, роторный механический насос,  бустерный механический насос

далее


KOREA VAC-TEC VTC-IBE-200-RF (IBE)

  • Установка ВЧ ионно-лучевого травления с загрузочным шлюзом
  • Подложки размером: до ø200 мм (большие размеры – по запросу потребителя)
  • Варианты загрузки: загрузка через загрузочный шлюз автоматическим роботом-манипулятором; по запросу потребителя – ручная загрузка
  • Подложкодержатель: вращающийся держатель с изменяемым углом наклона

далее


KOREA VAC-TEC ERIDAN (PVD)

  • Компактная установка магнетронного напыления (распыления) с загрузочным шлюзом
  • Размер рабочей камеры: ø1300 мм (другие размеры – по запросу потребителя)
  • Подложки размером: до ø200 мм
  • Загрузка через кассетный загрузочный шлюз автоматическим роботом-манипулятором

далее


KOREA VAC-TEC In-Line Wire Feeding Thermal Evaporation System (PVD)

  • Встроенная в технологическую линию установка термического напыления (распыления) проводящих материалов для фотовольтаики

KOREA VAC-TEC VTC-BES-3000-3EBG (PVD)

  • Установка электроннолучевого испарения (напыления) групповым методом для крупносерийного производства изделия большой площади

KOREA VAC-TEC ORION-BE (PVD)

  • Установка вакуумного испарения (напыления) групповым методом для оптики
  • Объем загрузки: 6 линз
  • Размеры линз: до ø80 мм
  • Время процесса: около 20 мин (зависит от процесса и условий)

далее


KOREA VAC-TEC ORION-40T (PVD)

  • Установка вакуумного испарения (напыления) групповым методом для оптики
  • Объем загрузки: примерно 36 линз ø70 мм
  • Время процесса: около 30 мин (зависит от процесса и условий)
  • Типы наносимых покрытий: антиотражающие, антистатические, отражающие (зеркальные) и прочие (а также гидрофобные и супергидрофобные наружные покрытия)

далее


KOREA VAC-TEC ORION-90T (PVD)

  • Установка вакуумного испарения (напыления) групповым методом для оптики
  • Объем загрузки: примерно 84 линзы ø70 мм
  • Время процесса: около 30 мин (зависит от процесса и условий)
  • Типы наносимых покрытий: антиотражающие, антистатические, отражающие (зеркальные) и прочие (а также гидрофобные и супергидрофобные наружные покрытия)

далее


KOREA VAC-TEC ORION-140T (PVD)

  • Установка вакуумного испарения (напыления) групповым методом для оптики
  • Объем загрузки: примерно 180 линз ø70 мм
  • Время процесса: около 30 мин (зависит от процесса и условий)
  • Типы наносимых покрытий: антиотражающие, антистатические, отражающие (зеркальные) и прочие (а также гидрофобные и супергидрофобные наружные покрытия)

далее


KOREA VAC-TEC ORION-400 (PVD)

  • Установка вакуумного испарения (напыления) групповым методом для оптики
  • Объем загрузки: примерно 400 линз ø70 мм
  • Роботизированная система полуавтоматической загрузки-выгрузки держателя подложек
  • Типы наносимых покрытий: антиотражающие, антистатические, отражающие (зеркальные) и прочие (а также гидрофобные и супергидрофобные наружные покрытия)

далее


KOREA VAC-TEC VTC-1200-СP (PVD)

  • Установка металлизации (вакуумного электронно-лучевого напыления слоев металлов) в автоматическом режиме групповым методом
  • Назначение: нанесение металлических слоев титана (Ti), золота (Au), серебра (Ag) на подложки А3В5
  • Объем загрузки: 54 пластины ø100 мм
  • Размер рабочей камеры: ø1200 мм, высота – ø1300 мм

далее


KOREA VAC-TEC VTC-1350DP (PVD)

  • Установка вакуумного испарения (напыления) слоев оксидов в автоматическом режиме групповым методом (в т.ч. для оптики)
  • Назначение: нанесение оптических покрытий на линзы;  напыление оксидов (SiO2, Ta2O5, Al2O3, TiO2) на подложках из Ge/Si, а также двухслойных структур SiO2/Ta2O5 и Al2O3/TiO2
  • Объем загрузки: примерно 220 линз ø70 мм; 72 пластины ø100 мм; 45 пластины ø124 мм (для пластин в оснастке)
  • Время процесса для линз: около 35 мин (зависит от процесса и условий)

далее


KOREA VAC-TEC In-Line Low Temperature Sputter System (PVD)

  • Встроенная в технологическую линию установка низкотемпературного напыления (распыления) для производства печатных плат
  • Назначение: напыление металлических слоев толщиной в несколько микрон на тонкие гибкие печатные платы с управлением температурой в течение процесса
  • Рабочая камера: модульной конструкции с вертикальной или горизонтальной ориентацией
  • Подложки: размеры – по запросу потребителя

далее


KOREA VAC-TEC In-Line TCO Sputter System (PVD)

  • Встроенная в технологическую линию установка напыления (распыления) прозрачного проводящего оксидного слоя для производства сенсорных панелей
  • Назначение: напыление прозрачного проводящего оксидного слоя  и антиотражающих покрытий на стеклянные подложки различных размеров
  • Рабочая камера прямоугольной формы. Материал рабочей камеры: нержавеющая сталь SUS 304
  • Система транспортировки подложки

далее

Scroll Up