Kokusai Electric

Kokusai Electric QUIXACE DJ-1206VN-DF (Aldinna) / Quixace II ALD High-k 300 mm (ALD)

  • Автоматическая высокопроизводительная установка атомно-слоевого осаждения (вертикальная печь химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении) при групповой обработке в промышленном производстве
  • Назначение: атомно-слоевое осаждение  TiN; осаждение SiO2; осаждение  TaN
  • Патронный нагревательный элемент
  • Система управления температурой, высокая скорость понижения / повышения температуры

далее

Scroll Up