ASMEagle XP platform

  • Платформа для создания кластерной многокамерной установки с использованием технологических модулей атомно-слоевого осаждения EmerALD XP ALD, Pulsar XP ALD, а также CVD-модулей, с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Пластины: ø300мм
  • Загрузка: через 3 загрузочных шлюза, FOUP
  • Загрузочный робот-манипулятор
  • Процессные камеры: до 4
  • Применяемые газы: Ar, N2 и прочие
  • Высокопроизводительная вакуумная система с безмасляными насосами

к списку

Scroll Up