Kokusai Electric

Kokusai Electric QUIXACE (QUIXACE-L/L) DD-1206V-DF 300 mm

  • Автоматическая высокопроизводительная установка для проведения термических процессов при групповой обработке в промышленном производстве динамических ОЗУ, микропроцессорных модулей и флеш-ПЗУ
  • Назначение: высокотемпературный отжиг, сверхвысокотемпературный отжиг (>1300°C) при производстве высококачественных кремниевых подложек для ликвидации линий скольжения в кристаллической структуре;
  • Диапазон рабочих температур: (150÷1350)°C
  • Система управления температурой, скоростью понижения / повышения температуры

далее


Kokusai Electric TSURUGI-C²

  • Автоматическая высокопроизводительная установка термического осаждения
  • Назначение: осаждение тонких пленок для 3D структур
  • Высокоскоростное автоматизированное устройство загрузки

далее


Kokusai Electric Advanced Ace-300

  • Автоматическая высокопроизводительная установка для проведения термических процессов при групповой обработке
  • Назначение: химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении, оксидирование, отжиг; осаждение конформных пленок в глубоких траншеях (щелях)
  • Пластины: ø300мм
  • Функция проверки работоспособности – опционно

далее


Kokusai Electric QUIXACE DJ-1206VN-DF (Aldinna)

  • Автоматическая высокопроизводительная установка атомно-слоевого осаждения (вертикальная печь химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении) при групповой обработке в промышленном производстве
  • Назначение: атомно-слоевое осаждение  TiN; осаждение SiO2; осаждение  TaN
  • Патронный нагревательный элемент
  • Система управления температурой, высокая скорость понижения / повышения температуры

далее


Kokusai Electric QUIXACE II ALD High-k 300 mm (ALD)

  • Автоматическая высокопроизводительная установка атомно-слоевого осаждения (вертикальная печь химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении) при групповой обработке в промышленном производстве
  • Назначение: атомно-слоевое осаждение  TiN; осаждение SiO2; осаждение  TaN
  • Патронный нагревательный элемент
  • Система управления температурой, высокая скорость понижения / повышения температуры

далее


Kokusai Electric Quixace II DJ-1206VN-DF Doped Poly 300 mm

  • Автоматическая вертикальная диффузионная печь химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении при групповой обработке в промышленном производстве
  • Назначение: химическое осаждение из газовой фазы легированного поликремния при пониженном давлении
  • Пластины: ø300мм (12”)
  • Загрузка-разгрузка в FOUP-контейнерах через 2 порта

далее


Kokusai Electric Quixace II DD-1206V-DF NITRIDE 300 mm

  • Автоматическая высокопроизводительная вертикальная диффузионная печь химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении при групповой обработке в промышленном производстве
  • Назначение: химическое осаждение из газовой фазы нитридов при пониженном давлении
  • Патронный нагревательный элемент
  • Система управления температурой с комплектом термопар

далее


Kokusai Electric DD-803V

  • Автоматическая вертикальная печь для термических (пирогенных) процессов
  • Кассетная загрузочная станция
  • Роботизированное устройство загрузки и перемещения пластин
  • Пластины: ø150мм

далее


Kokusai Electric Vertron DJ-803V

  • Автоматическая вертикальная диффузионная печь для нитридирования / Pyro (HCl) процессов при групповой обработке
  • Кассетная загрузка (пластиковые кассеты)
  • Роботизированное устройство загрузки и перемещения пластин
  • Пластины: ø200мм

далее


Kokusai Electric Vertron III DJ-803V

  • Автоматическая вертикальная диффузионная печь для группового химического осаждения нитридов из газовой фазы при пониженном давлении
  • Загрузка: загрузочная станция для  SMIF-контейнеров
  • Роботизированное устройство загрузки и перемещения пластин
  • Пластины: ø8″

далее


Kokusai Electric Vertron III

  • Автоматическая вертикальная диффузионная печь
  • Назначение: сухое / влажное оксидирование, NO (N2O)-отжиг, N2 (Ar, H2) отжиг, PH3 -отжиг, диффузия, химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении, оксидирование, осаждение легированного / нелегированного поликремния, осаждение легированного / нелегированного поли-кремния-германия, нитридирование, высокотемпературное оксидирование
  • Роботизированное устройство загрузки и перемещения пластин
  • Пластины: ø8″

далее


Kokusai ElectricVertron III DD-803V

  • Автоматическая вертикальная атмосферная / с пониженным давленим диффузионная печь для групповой обработки
  • Назначение: оксидирование (атмосферное давление), химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении, высокотемпературное оксидирование при пониженном давлении (опция)
  • Варианты загрузки: в SMIF-контейнерах; кассетная загрузка в ручном или автоматическом режиме
  • Роботизированное устройство загрузки и перемещения пластин

далее


Kokusai Electric VERTRON Revolution 200 mm

  • Автоматическая высокопроизводительная установка для проведения термических процессов при групповой обработке в промышленном производстве чипов, пластин, МЭМС, светодиодов, источников питания, фотоэлементов
  • Назначение: химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении, оксидирование, отжиг (высокотемпературный / низкотемпературный), диффузия, сухое / влажное оксидирование, осаждение легированного / нелегированного поликремния, нитридирование
  • Пластины: ø150мм, ø200мм.
  • Гибкие подложки: до ø150мм

далее


Kokusai Electric MARORA

  • Автоматическая высокопроизводительная установка для плазменного нитридирования / оксидирования при однопластинной обработке в промышленном производстве
  • Назначение: плазменное нитридирование диэлектрических пленок; плазменное оксидирование (формирование тонких оксидированных пленок, селективное оксидирование, анизотропное оксидирование, оксидирование кремния без оксидирования металла) при производстве последнего поколения динамических ОЗУ, логических устройств или флеш-ПЗУ

далее


Kokusai Electric TANDUO

  • Автоматическая высокопроизводительная установка для отжига при однопластинной обработке в промышленном производстве
  • Назначение: низкотемпературный отжиг, термостабилизация, дегазация

далее


Kokusai Electric Lambda 300/300N

  • Автоматическая высокопроизводительная установка для вскрытия фоторезиста / озоления (удаления сухого пленочного резиста) при однопластинной обработке в промышленном производстве
  • Назначение: удаления сухого пленочного резиста – нормальное озоление, высокодозовое озоление, фотостимулированное травление
  • Пластины: ø12”
  • Высокоскоростная система транспортировки пластин

далее


Kokusai Electric Lambda Strip 3000 / 3000 II

  • Автоматическая высокопроизводительная установка для вскрытия фоторезиста / озоления (удаления сухого пленочного резиста) при однопластинной обработке в промышленном производстве
  • Назначение: вскрытие фоторезиста / озоления (удаления сухого пленочного резиста)
  • Пластины: ø8”
  • Загрузочные камеры для кассетной загрузки: 2

далее


Kokusai Electric MG 8500R/8500ZS 200mm

  • Автоматическая вертикальная установка озоления для обработки групповам методом в промышленном производстве
  • Пластины: ø8″ (ø200мм)
  • Объем загрузки пластин: 50 шт
  • Загрузка в SMIF-контейнерах доступна для 8500ZS, как опция – для 8500R

далее

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.