KX 360 MACH

  • Установка предназначена для выращивания монокристаллов, применяемых в микроэлектронике
  • Диаметр выращиваемого кристалла: ≥ 300 мм
  • Источник нагрева: резистивный, индукционный 
  • Сверхпроводящий магнит: 4000 Гаусс
  • Диаметр рабочей камеры: 1400 мм
  • Высота рабочей камеры: 3500 мм
  • Скорость роста: от 0,01 до 127 мм/ч
  • Скорость вращения затравки (реверсивная): 0-30 об/мин
  • Скорость вращения тигля (реверсивная): 0-30 об/мин
  • Загрузочные параметры кремния  для тигля (Ø):

– 814 мм – 440кг

– 916 мм – 650кг                                                                               

  • Система KrystalVision TM для контроля диаметра и контроля уровня расплава
  • Система Kayex (KICCS TM) для аппаратного и программного управления процессами

к списку

Scroll Up