KX 240 MCZR

  • Первая в мире  модульная установка  для выращивания монокристаллов, применяемых в микроэлектронике с возможностью оперативной замены тиглей разных диаметров
  • Диаметр выращиваемого кристалла: 200-300 мм
  • Источник нагрева: резистивный, индукционный 
  • Диаметр рабочей камеры: 1100/1200 мм
  • Высота рабочей камеры: 3000/3500/4000 мм
  • Скорость роста: от 0,01 до 127 мм/ч
  • Скорость вращения затравки (реверсивная): 0-30 об/мин
  • Скорость вращения тигля (реверсивная): 0-20 об/мин
  • Загрузочные параметры кремния  для тигля (ØхH):

– 560х343мм – 220кг

– 611х483мм – 300кг

– 713х496мм – 350кг

  • Система KrystalVision TM для контроля диаметра и контроля уровня расплава
  • Система Kayex (KICCS TM) для аппаратного и программного управления процессами

к списку

Scroll Up