Centorr 3800 SERIES

  • Печь химического газофазного осаждения
  • Источник нагрева: Резистивный  (опция – индукционный) W / Графит
  • Изоляционный материал: графит
  • Максимальная температура рабочей зоны:  2200 / 2900 °С: 
  • Размер рабочей камеры

– (ØхH): 460х610 до 2133х3050 мм

– (WxHxL): 200х200х500 до 400х400х914 мм

  • Рабочая среда: вакуум 10 ̄ ³ Па, процессные газы
  • Система быстрого охлаждения водяная: 0,3 – 0,35 Мпа, 26 – 473 л/мин
  • Электричество: 3ф, 460В, 60Гц;  3ф, 400В, 50Гц
  • Потребляемая  мощность: 45 – 750  кВА
  • Пакет автоматизации Honeywell: нагрева, давления, подачи и расхода процессных газов, контроля герметичности, технологических программ; журнал событий.

к списку

Scroll Up