Установка выращивания монокристаллов кремния

  • Предназначена для производства в автоматическом режиме (кроме затравления) монокристаллов кремния методом Чохральского
  • Диаметр кристалла: не более 250 мм
  • Длина кристалла: не более 1600 мм
  • Скорость перемещения затравки: 0,1-8 мм/мин
  • Частота вращения затравки: 1-30 об/мин
  • Диаметр тигля: 508 мм
  • Рабочий ход тигля: 400 мм
  • Скорость перемещения тигля: 0,01-2 мм/мин
  • Частота вращения тигля: 1-20 об/мин
  • Максимальная скорость откачки: 150 л/сек
  • Предельное остаточное давление: 5х10-3  мм.рт.ст.
  • Расход охлаждающей воды:  10 м3/час
  • Давление охлаждающей воды на входе: не менее 0,3 МПа
  • Расход сжатого воздуха на процесс: не более 0,1 м3
  • Рекомендуемое давление сжатого воздуха: 0,6 МПа
  • Расход аргона: не более 3600 л/час
  • Рекомендуемое давление на входе в газовую систему: 0,25 МПа
  • Электропитание: 3 фазы; 380В; 50Гц
  • Мощность на нагревателе: максимально 150 кВа
  • Габариты (ШхГхВ):  4000х2700х 6200 мм
  • Масса: 6000 кг

к списку

Scroll Up