Установка выращивания монокристаллов арсенида индия и арсенида галлия

  • В установке используется метод LEC (Чохральского)
  • Максимальные размеры тигля: диаметр 230 мм, высота 200 мм
  • Способ нагрева: резистивный
  • Среда в камере печи:
    предельный вакуум: 1х10ˉ4 мм.рт.ст. 
    избыточное давление инертного газа: 10-20 атм.
  • Скорость вращения привода верхнего штока: 0-30 об/мин
  • Скорость перемещения привода верхнего штока, рабочая: 0-0,5 мм/мин
  • Скорость вращения тигля: 0-20 об/мин
  • Скорость перемещения  штока тигля, рабочая: 0-0.5 мм/мин
  •  Температура нагрева по зонам: верхняя 1200°С; средняя 1400°С; нижняя 1200°С
  • Мощность нагревателей по зонам: верхняя 20 кВт; средняя 60 кВт; нижняя 20 кВт
  • Точность регулирования температуры: 0,1°С

к списку

Scroll Up