sidmel

ООО «СИДМЭЛ»

Установка микроволнового плазмохимического травления для удаления пластиковых корпусов для НИОКР-лабораторий, опытных и мелкосерийных производств
Назначение: плазмохимическое травление диэлектриков (оксид кремния) и различных полимеров (резистов, полиимидов, эпоксидных смол) и т.д.
Размеры камеры: ø 200 × 120 мм
Максимальные размеры образца: ø160 × 80 мм
Область травления (по центру): 15 × 15 мм
Тип загрузки: открытая
Генератор возбуждения плазмы: (2,4÷2,5) ГГц, (0÷200) Вт
Скорость травления: от 10 мкм/мин