GN ELECTRONICS (GN tech)

MPC LF-2 / MPC RF-2

MPC LF-5 / MPC RF-5

MPC LF-12 / MPC RF-12

MPC LF-24 / MPC RF-24

MPC LF-24 / MPC RF-24

MPC LF-50 / MPC RF-50

MPC LF-75 / MPC RF-75

  • Установки плазменной очистки и обработки напольного типа для мелкосерийных, крупносерийных, массовых производств
  • Назначение: травление/плазменное декапирование окисленных слоев металлизации; травление тонких пленок; очистка органических загрязнений; очистка термозависимых элементов (например, пленок, пластиковых изделий); удаление остатков предыдущих проб с подложек и предметных стекол; уменьшение шероховатости предметных оснований; удаление фоторезиста и т.д.
  • Объем камеры: 75 л
  • Размеры камеры: 400 × 400 × 500 мм
  • Материал камеры: нержавеющая сталь
  • Расположение электродов: снаружи либо внутри вакуумной камеры
  • Источник плазмы: НЧ – 40 кГц / 80 кГц, 1000 Вт (MPC LF-75), ВЧ – 13,56 МГц, 1000 Вт (MPC RF-75)
  • Количество линий газов: 2 (3, 4 – опционно) с цифровыми РРГ
  • Монитор: 13,3ʺ, цветной, емкостной
  • Пластинчато-роторный / спиральный вакуумный насос: ≥ 10,0 м3/ч, < 1 х 10-1  мбар
  • Электропитание: 380 В, 50/60 Гц, 2 кВт
  • Габариты: 1900 × 1050 × 900 мм
  • Масса: 270 кг

MPC LF-100 / MPC RF-100

  • Установки плазменной очистки и обработки напольного типа для мелкосерийных, крупносерийных, массовых производств
  • Назначение: травление/плазменное декапирование окисленных слоев металлизации; травление тонких пленок; очистка органических загрязнений; очистка термозависимых элементов (например, пленок, пластиковых изделий); удаление остатков предыдущих проб с подложек и предметных стекол; уменьшение шероховатости предметных оснований; удаление фоторезиста и прочее
  • Объем камеры: 100 л
  • Размеры камеры: 400 × 400 × 625 мм
  • Материал камеры: нержавеющая сталь
  • Расположение электродов: снаружи либо внутри вакуумной камеры
  • Источник плазмы: НЧ – 40 кГц / 80 кГц, 1000 Вт (MPC LF-75), ВЧ – 13,56 МГц, 1000 Вт (MPC RF-75)
  • Количество линий газов: 2 (3, 4 – опционно) с цифровыми РРГ
  • Монитор: 13,3ʺ, цветной, емкостной
  • Пластинчато-роторный / спиральный вакуумный насос: ≥ 10,0 м3/ч, < 1 х 10-1  мбар
  • Электропитание: 380 В, 50/60 Гц, 2 кВт
  • Габариты: 1900 × 1050 × 900 мм
  • Масса: 270 кг