ООО «Корпорация спецтехнологического оборудования «ВИТРИ»

ООО «Корпорация спецтехнологического оборудования «ВИТРИ»

САТУРН

Установка дисковой резки
Назначение: для прецизионной дисковой резки пластин и подложек из полупроводниковых и диэлектрических материалов: ситалла, кварца, ниобата лития, кремния, стекла, поликора ВК-100, ферритов, карбидов, керамики ВК-94, ВК-40, Т-150 и др.
Подложки: пластины ≤150×150 мм
Режим работы установки: ручной или полуавтоматический
Высокоточный прецизионный шпиндель на воздушных подшипниках
Скорость вращения шпинделя: (5000÷60000) об/мин
Выходная мощность двигателя шпинделя: 1,2 кВт

Показать больше

Скорость перемещения по оси X: (0,1÷200) мм/с
Режим привода по оси Y: ШВП с шаговым двигателем
Контроль позиционирования: линейный энкодер
Дискретность перемещения по оси Y: 0,001 мм
Точность позиционирования по оси Y: ≤0,003 мм
Режим привода по оси Z: ШВП с шаговым двигателем
Контроль позиционирования: линейный энкодер
Дискретность перемещения по оси Z: 0,001 мм
Точность позиционирования по оси Z: ≤0,003 мм
Угол вращения (ось U): 360°
Контроль позиционирования: линейный энкодер
Точность (ось U): 5 угл. сек
Программная система управления: компьютер промышленного исполнения
Датчик бесконтактного измерения диаметра диска
Водяное охлаждение: (0,2÷0,4) МПа, ≤2 л/мин
Очищенный сжатый воздух: 0,5 МПа, 270 л/мин
Электропитание: 220 В ±10%, 1 ф, 50 Гц, 1,5 кВт
Габариты: 750×1150×1650 мм
Масса: 410 кг

Показать меньше