Shenyang Heyan Technology Co., Ltd.

DS613

Установка прецизионной резки пластин
Назначение: для резки пластин кремния, арсенида галлия, керамики, стекла, ниобата лития, кварца, сапфира и др. на кристаллы, печатных плат для изготовления диодов, триодов, МЭМС, ИС, светодиодов, фотоэлектрических устройств, медицинских устройства, сцинтилляционных кристаллов
Подложки: круглые пластины – ≤ø150 мм; квадратные пластины ≤160×160 мм; толщина ≤8 мм
Глубина реза: ≤4 мм или по индивидуальному заказу
Плоскостность стола: ±0,005 мм/150 мм
Система выравнивания: 70x прямой свет + кольцевой свет (210x опционально)
Скорость вращения шпинделя: (3000÷40000) об/мин

Показать больше

Выходная мощность двигателя шпинделя: 1,25 кВт
Режим привода по оси X: серводвигатель
Максимальный размах по оси X: 240 мм
Разрешение шкалы по оси X: 0,001 мм
Скорость перемещения по оси X: (0,1÷400) мм/с
Режим привода по оси Y: шаговый двигатель + решётка, система управления с замкнутым контуром
Максимальный размах по оси Y: 170 мм
Разрешение шкалы по оси Y: 0,0005 мм
Точность позиционирования хода по оси Y: ≤0,003 мм/5 мм
Точность позиционирования по всему ходу по оси Y: ≤0,005 мм/170 мм
Режим привода по оси Z: шаговый двигатель
Максимальный размах по оси Z: 30 мм
Разрешение шкалы по оси Z: 0,001 мм
Повторяемость по оси Z: 0,001 мм
Режим привода по оси θ: двигатель DD
Максимальный угол поворота (ось θ): 380°
Разрешение угла поворота (ось θ): 0,0005°
Программная система управления: DS-300, управление с помощью 15” сенсорного ЖК-экрана и графического интерфейса
Вытяжная вентиляция: 1,5 м³/мин (ANR)
Водяное охлаждение: (0,2÷0,3) МПа, 1,5 л/мин
Очищенный сжатый воздух: (0,5÷0,6) МПа, 180 л/мин
Деионизованная (очищающая) вода: (0,2÷0,3) МПа, 3,0 л/мин
Электропитание: 220 В ±10%, 1 ф, 50 Гц, 3,0 кВА
Габариты: 665×850×1650 мм
Масса: 500 кг
Опционно: обзор зоны резки; функция автоматического распознавания; функция бесконтактного измерения высоты

Показать меньше

DS616

Установка прецизионной резки пластин
Назначение: для резки пластин кремния, арсенида галлия, керамики, стекла, ниобата лития, оксида алюминия, кварца, сапфира и др. на кристаллы, печатных плат для изготовления диодов, триодов, МЭМС, ИС, светодиодов, фотоэлектрических устройств, оптических устройств, медицинских устройств, сцинтилляционных кристаллов
Подложки: круглые пластины – ≤ø150 мм; квадратные пластины ≤160×160 мм; толщина ≤8 мм
Глубина реза: ≤4 мм или по индивидуальному заказу
Плоскостность стола: ±0,005 мм/150 мм
Система выравнивания: 70x прямой свет + кольцевой свет (210x опционально)
Скорость вращения шпинделя: (10000÷50000) об/мин

Показать больше

Выходная мощность двигателя шпинделя: 1,5 кВт
Режим привода по оси X: серводвигатель
Максимальный размах по оси X: 240 мм
Разрешение шкалы по оси X: 0,001 мм
Скорость перемещения по оси X: (0,1÷400) мм/с
Режим привода по оси Y: шаговый двигатель + решётка, система управления с замкнутым контуром
Максимальный размах по оси Y: 170 мм
Разрешение шкалы по оси Y: 0,0005 мм
Точность позиционирования хода по оси Y: ≤0,003 мм/5 мм
Точность позиционирования по всему ходу по оси Y: ≤0,005 мм/170 мм
Режим привода по оси Z: шаговый двигатель
Максимальный размах по оси Z: 30 мм
Разрешение шкалы по оси Z: 0,001 мм
Повторяемость по оси Z: 0,001 мм
Режим привода по оси θ: двигатель DD
Максимальный угол поворота (ось θ): 380°
Разрешение угла поворота (ось θ): 0,0002°
Программная система управления: DS-300, управление с помощью сенсорного экрана и графического интерфейса
Вытяжная вентиляция: 1,5 м³/мин (ANR)
Водяное охлаждение: (0,2÷0,3) МПа, 1,5 л/мин
Очищенный сжатый воздух: (0,5÷0,6) МПа, 200 л/мин
Деионизованная (очищающая) вода: (0,2÷0,3) МПа, 3,0 л/мин
Электропитание: 220 В ±10%, 1 ф, 50 Гц, 3,0 кВА
Габариты: 665×850×1650 мм
Масса: 500 кг
Опционно: функция бесконтактного датчика (NCS); функция обнаружения поломки лезвия (BBD); функция проверки пропила

Показать меньше

DS623

Установка прецизионной резки пластин
Назначение: для резки пластин кремния, арсенида галлия, керамики, стекла, ниобата лития, оксида алюминия, кварца, сапфира и др. на кристаллы, печатных плат для изготовления МЭМС, ИС, светодиодов, оптоэлектронных устройств, оптических устройств, медицинских устройств, средств связи
Подложки: круглые пластины – ≤ø150 мм; квадратные пластины ≤160×160 мм; толщина ≤8 мм
Глубина реза: ≤4 мм или по индивидуальному заказу
Плоскостность стола: ±0,005 мм/150 мм
Система выравнивания: двойная линза, прямой свет + косой свет
Скорость вращения шпинделя: (10000÷50000) об/мин

Показать больше

Выходная мощность двигателя шпинделя: 1,5 кВт
Режим привода по оси X: серводвигатель
Максимальный размах по оси X: 240 мм
Разрешение шкалы по оси X: 0,001 мм
Скорость перемещения по оси X: (0,1÷500) мм/с
Режим привода по оси Y: шаговый двигатель + система с обратной связью
Максимальный размах по оси Y: 170 мм
Разрешение шкалы по оси Y: 0,0001 мм
Точность позиционирования хода по оси Y: ≤0,002 мм/5 мм
Точность позиционирования по всему ходу по оси Y: ≤0,004 мм/170 мм
Режим привода по оси Z: шаговый двигатель
Максимальный размах по оси Z: 30 мм
Разрешение шкалы по оси Z: 0,0001 мм
Повторяемость по оси Z: 0,001 мм
Режим привода по оси θ: двигатель DD
Максимальный угол поворота (ось θ): 380°
Разрешение угла поворота (ось θ): 0,0002°
Программная система управления: оснащена функцией бесконтактного датчика (NCS), функцией проверки пропила
Вытяжная вентиляция: 1,5 м³/мин (ANR)
Водяное охлаждение: (0,2÷0,3) МПа, 1,5 л/мин
Очищенный сжатый воздух: (0,5÷0,6) МПа, 220 л/мин
Деионизованная (очищающая) вода: (0,2÷0,3) МПа, 3,5 л/мин
Электропитание: 380 В ±5%, 3 ф, 50 Гц, 3,0 кВА
Габариты: 580×850×1650 мм
Масса: 500 кг
Опционно: функция обнаружения поломки лезвия (BBD); функция определения формы заготовки; функция сканирования и ввода данных; выходная мощность двигателя шпинделя 2,4 кВт

Показать меньше

DS820

Установка прецизионной резки пластин
Назначение: для резки пластин кремния, арсенида галлия, керамики, стекла, ниобата лития, оксида алюминия, кварца, сапфира и пр. на кристаллы, печатных плат для изготовления триодов, ИС, светодиодов, фотоэлектрических устройств, оптоэлектронных устройств, оптических устройств, медицинских устройства, сцинтилляционных кристаллов, средств связи
Подложки: круглые пластины ≤ø200 мм; квадратные пластины ≤180×180 мм
Глубина реза: ≤4 мм или по индивидуальному заказу
Плоскостность стола: ±0,005 мм/100 мм
Система выравнивания: 70x прямой свет + кольцевой свет (210x опционально)
Скорость вращения шпинделя: (10000÷50000) об/мин

Показать больше

Выходная мощность двигателя шпинделя: 1,5 кВт
Режим привода по оси X: серводвигатель
Максимальный размах по оси X: 380 мм
Разрешение шкалы по оси X: 0,001 мм
Скорость перемещения по оси X: (0,1÷400) мм/с
Режим привода по оси Y: шаговый двигатель + система с обратной связью
Максимальный размах по оси Y: 210 мм
Разрешение шкалы по оси Y: 0,0005 мм
Точность позиционирования хода по оси Y: ≤0,003 мм/5 мм
Точность позиционирования по всему ходу по оси Y: ≤0,005 мм/210 мм
Режим привода по оси Z: шаговый двигатель
Максимальный размах по оси Z: 30 мм
Разрешение шкалы по оси Z: 0,001 мм
Повторяемость по оси Z: 0,001 мм
Режим привода по оси θ: двигатель DD
Максимальный угол поворота (ось θ): 380°
Разрешение угла поворота (ось θ): 0,0005°
Программная система управления: DS-300, управление с помощью 15” сенсорного ЖК-экрана и графического интерфейса
Возможности: управление базой данных режущих дисков и базой данных деталей; функции автоматической фокусировки, двусторонней дисковой резки, компенсации величины воздействия диска, многочиповой резки, безопасности и предупреждения
Вытяжная вентиляция: 2,0 м³/мин (ANR)
Водяное охлаждение: (0,2÷0,3) МПа, 1,5 л/мин
Очищенный сжатый воздух: (0,5÷0,6) МПа, 180 л/мин
Деионизованная (очищающая) вода: (0,2÷0,3) МПа, 3,0 л/мин
Электропитание: 220 В ±10%, 1 ф, 50 Гц, 3,0 кВА
Габариты: 775×960×1650 мм
Масса: 600 кг

Показать меньше

DS830

Установка прецизионной резки пластин
Назначение: для резки пластин кремния, арсенида галлия, керамики, стекла, ниобата лития, оксида алюминия, кварца, сапфира и пр. на кристаллы, печатных плат для изготовления триодов, ИС, светодиодов, фотоэлектрических устройств, оптоэлектронных устройств, оптических устройств, медицинских устройства, сцинтилляционных кристаллов, средств связи
Подложки: круглые пластины ≤ø200 мм; квадратные пластины ≤180×180 мм
Глубина реза: ≤4 мм или по индивидуальному заказу
Плоскостность стола: ±0,005 мм/150 мм
Система выравнивания: 70x прямой свет + кольцевой свет (210x опционально)
Скорость вращения шпинделя: (10000÷50000) об/мин

Показать больше

Выходная мощность двигателя шпинделя: 1,5 кВт
Режим привода по оси X: серводвигатель
Максимальный размах по оси X: 380 мм
Разрешение шкалы по оси X: 0,001 мм
Скорость перемещения по оси X: (0,1÷500) мм/с
Режим привода по оси Y: шаговый двигатель + решетка замкнутого контура управления
Максимальный размах по оси Y: 210 мм
Разрешение шкалы по оси Y: 0,0005 мм
Точность позиционирования хода по оси Y: ≤0,003 мм/5 мм
Точность позиционирования по всему ходу по оси Y: ≤0,005 мм/210 мм
Режим привода по оси Z: шаговый двигатель
Максимальный размах по оси Z: 30 мм
Разрешение шкалы по оси Z: 0,001 мм
Повторяемость по оси Z: 0,001 мм
Режим привода по оси θ: двигатель DD
Максимальный угол поворота (ось θ): 380°
Разрешение угла поворота (ось θ): 0,0002°
Возможности: автоматическое определение системой изображений положения, ширины, сколов и эксцентриситета следов режущего инструмента, выполнение коррекции базовой линии и положения резки; функции идентификации изображения и автоматического выравнивания, бесконтактного датчика (NCS), обнаружения следов ножа
Вытяжная вентиляция: 2,0 м³/мин (ANR)
Водяное охлаждение: (0,2÷0,3) МПа, 1,5 л/мин
Очищенный сжатый воздух: (0,5÷0,6) МПа, 220 л/мин
Деионизованная (очищающая) вода: (0,2÷0,3) МПа, 3,5 л/мин
Электропитание: 220 В ±10%, 1 ф, 50 Гц, 3,0 кВА
Габариты: 775×960×1650 мм
Масса: 600 кг
Опционно: функция обнаружения поломки лезвия (BBD); выходная мощность двигателя шпинделя 2,4 кВт; функция проверки пропила; индивидуальный модуль в соответствии с требованиями заказчика

Показать меньше

DS9100

Установка прецизионной резки пластин
Назначение: для резки полупроводниковых пластин, керамики, стекла, ниобата лития, оксида алюминия, кварца и пр. на кристаллы, печатных плат для изготовления светодиодных сборок, оптоэлектронных устройств, оптических устройств, квадратных плоских безвыводных корпусов, корпусов типа BGA, средств связи
Подложки: круглые пластины ≤ø250 мм; квадратные пластины ≤250×250 мм
Глубина реза: ≤4 мм или по индивидуальному заказу
Плоскостность стола: ±0,005 мм/200 мм
Система выравнивания: двойная линза, прямой свет + косой свет
Тип шпинделя: рамная конструкция мостового типа, один шпиндель

Показать больше

Скорость вращения шпинделя: (6000÷60000) об/мин
Выходная мощность двигателя шпинделя (постоянный ток): 2,4 кВт
Режим привода по оси X: серводвигатель
Диапазон резки по оси X: 260 мм
Разрешение шкалы по оси X: 0,001 мм
Скорость перемещения по оси X: (0,1÷600) мм/с
Режим привода по оси Y: шаговый двигатель + система с обратной связью
Максимальный размах по оси Y: 260 мм
Разрешение шкалы по оси Y: 0,0001 мм
Точность позиционирования хода по оси Y: ≤0,002 мм/5 мм
Точность позиционирования по всему ходу по оси Y: ≤0,005 мм/260мм
Режим привода по оси Z: шаговый двигатель
Максимальный размах по оси Z: 40 мм
Разрешение шкалы по оси Z: 0,0001 мм
Повторяемость по оси Z: 0,001 мм
Режим привода по оси θ: двигатель DD
Максимальный угол поворота (ось θ): 380°
Разрешение угла поворота (ось θ): 0,0002°
Возможности: функции бесконтактного датчика (NCS), проверки пропила
Вытяжная вентиляция: 5,0 м³/мин (ANR)
Водяное охлаждение: (0,2÷0,3) МПа, 1,5 л/мин
Очищенный сжатый воздух: (0,5÷0,6) МПа, 260 л/мин
Деионизованная (очищающая) вода: (0,2÷0,3) МПа, 4,0 л/мин
Электропитание: 380 В ±5%, 3 ф, 50 Гц, 4,0 кВт
Габариты: 900×1050×1800 мм
Масса: 1200 кг
Опционно: функция обнаружения поломки лезвия (BBD); функция определения формы заготовки; функция сканирования и ввода данных

Показать меньше

DS9200

Установка прецизионной резки пластин
Назначение: для резки полупроводниковых пластин, керамики, стекла, ниобата лития, оксида алюминия, кварца и пр. на кристаллы, печатных плат для изготовления светодиодных сборок, оптоэлектронных устройств, оптических устройств, квадратных плоских безвыводных корпусов, корпусов типа BGA, средств связи
Подложки: круглые пластины ≤ø310 мм; квадратные пластины ≤310×310 мм
Глубина реза: ≤4 мм или по индивидуальному заказу
Плоскостность стола: ±0,005 мм/200 мм
Система выравнивания: двойная линза, прямой свет + косой свет
Тип шпинделя: перевернутый двойной шпиндель

Показать больше

Скорость вращения шпинделя: (6000÷60000) об/мин
Выходная мощность двигателя шпинделя (постоянный ток): 2,4 кВт
Режим привода по оси X: серводвигатель
Диапазон резки по оси X: 310 мм
Разрешение шкалы по оси X: 0,001 мм
Скорость перемещения по оси X: (0,1÷600) мм/с
Режим привода по оси Y: шаговый двигатель + система с обратной связью
Максимальный размах по оси Y: 310 мм
Разрешение шкалы по оси Y: 0,0001 мм
Точность позиционирования хода по оси Y: ≤0,002 мм/5 мм
Точность позиционирования по всему ходу по оси Y: ≤0,005 мм/310 мм
Режим привода по оси Z: шаговый двигатель
Максимальный размах по оси Z: 40 мм
Разрешение шкалы по оси Z: 0,0001 мм
Повторяемость по оси Z: 0,001 мм
Режим привода по оси θ: двигатель DD
Максимальный угол поворота (ось θ): 380°
Разрешение угла поворота (ось θ): 0,0002°
Возможности: функции бесконтактного датчика (NCS), проверки пропила
Вытяжная вентиляция: 8,0 м³/мин (ANR)
Водяное охлаждение: (0,2÷0,3) МПа, 3,0 л/мин
Очищенный сжатый воздух: (0,5÷0,6) МПа, 400 л/мин
Деионизованная (очищающая) вода: (0,2÷0,3) МПа, 7,0 л/мин
Электропитание: 380 В ±5%, 3 ф, 50 Гц, 5,0 кВА
Габариты: 1400×1350×1900 мм
Масса: 1400 кг
Опционно: функция обнаружения поломки лезвия (BBD); функция определения формы заготовки; функция сканирования и ввода данных

Показать меньше

DS9260

Автоматическая установка прецизионной резки пластин для серийного производства
Назначение: для резки кремниевых пластин, керамики, стекла, ниобата лития, оксида алюминия, кварца и др. на кристаллы, печатных плат
Подложки: круглые пластины ≤ø12”; квадратные пластины ≤310×310 мм
Глубина реза: ≤4мм или по индивидуальному заказу
Плоскостность стола: ±0,008 мм/310 мм
Система выравнивания: HD-камера, прямой свет + кольцевой свет
Тип шпинделя: портальный двойной шпиндель

Показать больше

Скорость вращения шпинделя: (6000÷60000) об/мин
Выходная мощность двигателя шпинделя (постоянный ток): 2,4 кВт
Режим привода по оси X: серводвигатель
Диапазон резки по оси X: 310 мм
Разрешение шкалы по оси X: 0,001 мм
Скорость перемещения по оси X: (0,1÷1000) мм/с
Режим привода по оси Y: сервомотор + система управления с замкнутым контуром
Максимальный размах по оси Y: 310 мм
Разрешение шкалы по оси Y: 0,0001 мм
Точность позиционирования хода по оси Y: ≤0,002 мм/5 мм
Точность позиционирования по всему ходу по оси Y: ≤0,005 мм/310 мм
Режим привода по оси Z: серводвигатель
Максимальный размах по оси Z: 40 мм
Разрешение шкалы по оси Z: 0,00005 мм
Повторяемость по оси Z: 0,001 мм
Режим привода по оси θ: двигатель DD
Максимальный угол поворота (ось θ): 380°
Разрешение угла поворота (ось θ): 0,0001°
Возможности: функции бесконтактного датчика (NCS), обнаружения метки инструмента
Полная автоматизация: автоматическая загрузка, выравнивание, резка, очистка и выгрузка пластин
Вытяжная вентиляция: 8,0 м³/мин (ANR)
Водяное охлаждение: (0,2÷0,3 )МПа, 3,0 л/мин
Очищенный сжатый воздух: (0,5÷0,6) МПа, 550 л/мин
Деионизованная (очищающая) вода: (0,2÷0,3) МПа, 9,0 л/мин
Электропитание: 380 В ±10%, 3 ф, 50 Гц, 7,0 кВА
Габариты: 1200×1600×1800 мм
Масса: 2000 кг
Опционно: функция обнаружения поломки лезвия (BBD); функция определения формы заготовки; функция сканирования и ввода данных

Показать меньше

Обратная связь

Shenyang Heyan Technology Co., Ltd.

DS613

DS616

DS623

DS820

DS830

DS9100

DS9200

DS9260

Презентации

Инженерное оборудование

Технологическое оборудование