• Диаметр инструмента: 195 мм
• Исходная толщина пластин: до 2,0 мм
• Остаточная толщина обработанных пластин: ø100 мм – 100 мкм, ø150 мм –

120 мкм, ø200 мм – 170 мкм

• Разнотолщинность обработанной пластины: ø100 мм – 3 мкм, ø150 мм – 4 мкм, ø200 мм – 5 мкм           
• Разнотолщинность от пластины к пластине: ø100мм — ±3мкм, ø150мм – ±4мкм, ø200 мм – ±5 мкм
• Шероховатость обработанной поверхности пластины (Ra) в зависимости от абразива и режимов: до 0,03 мкм
• Встроенная система автоматического определения положения рабочих плоскостей шлифовальных и полировального инструментов относительно поверхности предметного стола
• Встроенная система автоматического определения толщины обработанной пластины с выводом результатов на дисплей
• Габариты: 1750×1400×1500 мм
• Масса: 2500 кг

• Регулируемая рабочая подача: (1÷50) мм/с
• Частота вращения электрошпинделя: (1000÷6000) мин^-1
• Максимальное перемещение предметного стола в вертикальном направлении: ≥5 мм
• Диапазон толщин обрабатываемых пластин: ø100мм — (400÷600) мкм, ø150 мм – (625÷780) мкм, ø200 мм – (725÷800) мкм
• Точность обработки: ±10 мкм
• Прогиб пластин: ≤40 мкм
• Производительность при удалении слоя 100 мкм: для ø100 мм – 15 пл/ч, для ø150 мм – 10 пл/ч, для ø200 мм – 5 пл/ч  
• Разнотолщинность обработанных пластин: ø100 мм — ±4 мкм, ø150 мм – ±5 мкм, ø200 мм – ±6 мкм        
• Максимальная остаточная толщина обработанных пластин: ø100 мм — ≤130 мкм, ø150 мм – ≤160 мкм, ø200 мм – ≤250 мкм
• Шероховатость обработанной поверхности пластины (Ra): ≤0,2 мкм
• Вода деионизованная: (0,25÷0,35) МПа, 20 л/мин
• Очищенный сжатый воздух: (0,55÷0,6) МПа, 1000 л/мин
• Вакуум: (0,02÷0,14) МПа
• Вытяжная вентиляция
• Система канализации

• Автоматическое определение диаметра алмазного диска перед выполнением операции разделения каждой подложки
• Шпиндели на аэростатических опорах
• Количество независимых зон резки: 2 шт. с 2-мя поворотными столами
• Применяемые алмазные диски: корпусные алмазные диск типа ДАР с наружным ø56 мм (производства ОАО «Планар»), бескорпусные режущие алмазные диски до наружного ø76 мм
• Варианты резки подложек на кристаллы: прямоугольники, шестигранники и восьмигранники
• Возможность сквозного разрезания стержней и капилляров: до наружного ø5 мм (опционально до ø10 мм)

• Автоматический поворот подложки на нужный угол после окончания реза по одной из плоскостей для продолжения операции разделения
• Полуавтоматическое определение диаметра алмазного диска перед выполнением операции разделения каждой подложки
• Количество установленных электрошпинделей на аэростатических опорах: 2 шт
• Мощность электрошпинделя: 1,2 кВт
• Регулируемая скорость вращения шпинделя: (10000÷60000) об/мин
• Диапазон регулирования рабочей подачи: (0,1÷200) мм/с
• Дискретность регулирования рабочей подачи: (0,1) мм/с  
• Накопленная погрешность шаговых перемещений на длине 210 мм: ≤0,005 мм     
• Применяемые алмазные диски: корпусные алмазные диск типа ДАР с наружным ø56 мм (производства ОАО «Планар»), бескорпусные режущие алмазные диски до наружного ø76 мм
• Варианты резки подложек на кристаллы: прямоугольники, шестигранники и восьмигранники
• Возможность сквозного разрезания стержней и капилляров: до наружного ø5 мм (опционально до ø10 мм)
• Электропитание: 230 В, 1 ф, 50 Гц, 4000 Вт
• Габариты: 1200×1050×1700 мм
• Масса: 650 кг
• Опционально: толщина обрабатываемых пластин до 10000 мкм; мощность электрошпинделя 1,8 кВт, 2,4 кВт

• Определение диаметра алмазного диска перед выполнением операции разделения каждой подложки
• Электрошпиндель на аэростатических опорах
• Мощность электрошпинделя: 1,2 кВт
• Регулируемая скорость вращения шпинделя: (10000÷60000) об/мин
• Диапазон регулирования рабочей подачи: (0,1÷200) мм/с
• Дискретность регулирования рабочей подачи: (0,1) мм/с  
• Накопленная погрешность шаговых перемещений на длине 210 мм: ≤0,005 мм     
• Применяемые алмазные диски: корпусные алмазные диск типа ДАР с наружным ø56 мм (производства ОАО «Планар»), бескорпусные режущие алмазные диски до наружного ø76 мм
• Варианты резки подложек на кристаллы: прямоугольники, шестигранники и восьмигранники
• Возможность сквозного разрезания стержней и капилляров: до наружного

   ø5 мм (опционально до ø10 мм)

• Электропитание: 230 В, 1 ф, 50 Гц, 2000 Вт
• Габариты: 970×950×1400 мм
• Масса: 500 кг
• Опционально: толщина обрабатываемых пластин до 20 мм

• Регулируемая скорость вращения шпинделя: (10000÷60000) об/мин
• Диапазон регулирования рабочей подачи: (0,5÷125) мм/с
• Накопленная погрешность шаговых перемещений на длине 160 мм: ≤0,020 мм
• Применяемые алмазные диски: корпусные алмазные диск типа ДАР со стандартным наружным ø56 мм (производства ОАО «Планар»), максимальным – ø58 мм
• Система управления: встроенный промышленный персональный компьютер с жидкокристаллическим монитором
• Библиотека программ обработки различных пластин и подложек
• Виброзащищенность конструкции от внешних воздействий
• Отсос продуктов обработки
• Очищенный сжатый воздух: (0,5÷0,6) МПа, ≤10 м³/ч
• Деионизованная вода: (0,2÷0,3) МПа, ≤20 л/мин
• Электропитание: 230 В, 1 ф, 50 Гц, 2000 Вт
• Габариты: 1200×1200×1500 мм
• Масса: 300 кг