• Диаметр инструмента: 195 мм
• Исходная толщина пластин: до 2,0 мм
• Остаточная толщина обработанных пластин: ?100 мм – 100 мкм, ?150 мм –

120 мкм, ?200 мм – 170 мкм

• Разнотолщинность обработанной пластины: ?100 мм – 3 мкм, ?150 мм – 4 мкм, ?200 мм – 5 мкм           
• Разнотолщинность от пластины к пластине: ?100мм — ±3мкм, ?150мм – ±4мкм, ?200 мм – ±5 мкм
• Шероховатость обработанной поверхности пластины (Ra) в зависимости от абразива и режимов: до 0,03 мкм
• Встроенная система автоматического определения положения рабочих плоскостей шлифовальных и полировального инструментов относительно поверхности предметного стола
• Встроенная система автоматического определения толщины обработанной пластины с выводом результатов на дисплей
• Габариты: 1750?1400?1500 мм
• Масса: 2500 кг

• Регулируемая рабочая подача: (1?50) мм/с
• Частота вращения электрошпинделя: (1000?6000) мин^-1
• Максимальное перемещение предметного стола в вертикальном направлении: ?5 мм
• Диапазон толщин обрабатываемых пластин: ?100мм — (400?600) мкм, ?150 мм – (625?780) мкм, ?200 мм – (725?800) мкм
• Точность обработки: ±10 мкм
• Прогиб пластин: ?40 мкм
• Производительность при удалении слоя 100 мкм: для ?100 мм – 15 пл/ч, для ?150 мм – 10 пл/ч, для ?200 мм – 5 пл/ч  
• Разнотолщинность обработанных пластин: ?100 мм — ±4 мкм, ?150 мм – ±5 мкм, ?200 мм – ±6 мкм        
• Максимальная остаточная толщина обработанных пластин: ?100 мм — ?130 мкм, ?150 мм – ?160 мкм, ?200 мм – ?250 мкм
• Шероховатость обработанной поверхности пластины (Ra): ?0,2 мкм
• Вода деионизованная: (0,25?0,35) МПа, 20 л/мин
• Очищенный сжатый воздух: (0,55?0,6) МПа, 1000 л/мин
• Вакуум: (0,02?0,14) МПа
• Вытяжная вентиляция
• Система канализации

• Автоматическое определение диаметра алмазного диска перед выполнением операции разделения каждой подложки
• Шпиндели на аэростатических опорах
• Количество независимых зон резки: 2 шт. с 2-мя поворотными столами
• Применяемые алмазные диски: корпусные алмазные диск типа ДАР с наружным ?56 мм (производства ОАО «Планар»), бескорпусные режущие алмазные диски до наружного ?76 мм
• Варианты резки подложек на кристаллы: прямоугольники, шестигранники и восьмигранники
• Возможность сквозного разрезания стержней и капилляров: до наружного ?5 мм (опционально до ?10 мм)

• Автоматический поворот подложки на нужный угол после окончания реза по одной из плоскостей для продолжения операции разделения
• Полуавтоматическое определение диаметра алмазного диска перед выполнением операции разделения каждой подложки
• Количество установленных электрошпинделей на аэростатических опорах: 2 шт
• Мощность электрошпинделя: 1,2 кВт
• Регулируемая скорость вращения шпинделя: (10000?60000) об/мин
• Диапазон регулирования рабочей подачи: (0,1?200) мм/с
• Дискретность регулирования рабочей подачи: (0,1) мм/с  
• Накопленная погрешность шаговых перемещений на длине 210 мм: ?0,005 мм     
• Применяемые алмазные диски: корпусные алмазные диск типа ДАР с наружным ?56 мм (производства ОАО «Планар»), бескорпусные режущие алмазные диски до наружного ?76 мм
• Варианты резки подложек на кристаллы: прямоугольники, шестигранники и восьмигранники
• Возможность сквозного разрезания стержней и капилляров: до наружного ?5 мм (опционально до ?10 мм)
• Электропитание: 230 В, 1 ф, 50 Гц, 4000 Вт
• Габариты: 1200?1050?1700 мм
• Масса: 650 кг
• Опционально: толщина обрабатываемых пластин до 10000 мкм; мощность электрошпинделя 1,8 кВт, 2,4 кВт

• Определение диаметра алмазного диска перед выполнением операции разделения каждой подложки
• Электрошпиндель на аэростатических опорах
• Мощность электрошпинделя: 1,2 кВт
• Регулируемая скорость вращения шпинделя: (10000?60000) об/мин
• Диапазон регулирования рабочей подачи: (0,1?200) мм/с
• Дискретность регулирования рабочей подачи: (0,1) мм/с  
• Накопленная погрешность шаговых перемещений на длине 210 мм: ?0,005 мм     
• Применяемые алмазные диски: корпусные алмазные диск типа ДАР с наружным ?56 мм (производства ОАО «Планар»), бескорпусные режущие алмазные диски до наружного ?76 мм
• Варианты резки подложек на кристаллы: прямоугольники, шестигранники и восьмигранники
• Возможность сквозного разрезания стержней и капилляров: до наружного

   ?5 мм (опционально до ?10 мм)

• Электропитание: 230 В, 1 ф, 50 Гц, 2000 Вт
• Габариты: 970?950?1400 мм
• Масса: 500 кг
• Опционально: толщина обрабатываемых пластин до 20 мм

• Регулируемая скорость вращения шпинделя: (10000?60000) об/мин
• Диапазон регулирования рабочей подачи: (0,5?125) мм/с
• Накопленная погрешность шаговых перемещений на длине 160 мм: ?0,020 мм
• Применяемые алмазные диски: корпусные алмазные диск типа ДАР со стандартным наружным ?56 мм (производства ОАО «Планар»), максимальным – ?58 мм
• Система управления: встроенный промышленный персональный компьютер с жидкокристаллическим монитором
• Библиотека программ обработки различных пластин и подложек
• Виброзащищенность конструкции от внешних воздействий
• Отсос продуктов обработки
• Очищенный сжатый воздух: (0,5?0,6) МПа, ?10 м³/ч
• Деионизованная вода: (0,2?0,3) МПа, ?20 л/мин
• Электропитание: 230 В, 1 ф, 50 Гц, 2000 Вт
• Габариты: 1200?1200?1500 мм
• Масса: 300 кг