ELS 606FA

  • Установка задубливания фоторезиста
  • Размер подложки:100 – 150мм
  • Состав:            зона загрузки / Робот / система выравнивания / система нагрева / зона выгрузки
  • Тип робота:двойной манипулятор с системой картирования
  • Класс чистоты:класс 100 с HEPA фильтром
  • Нагрев: до 150 °С (опционально до 200°С)
  • Способ нагрева: контакт / близость
  • Управление:встроенный компьютер
  • PLC секвенсор:Mitsubishi Q series
  • Рецепты:         30 рецептов x 50 шагов
  • Производительность:100-120 шт. в час

к списку

Scroll Up