ELS 604FA

  • Установка задубливания фотрезиста
  • Размер подложки?50 — 100мм
  • Состав?зона загрузки / Робот / система выравнивания / система нагрева / зона выгрузки
  • Тип робота?двойной манипулятор с системой картирования
  • Класс чистоты?класс 100 с HEPA фильтром
  • Нагрев: до 150 °С (опционально до 200°С)
  • Способ нагрева: контакт / близость
  • Управление?встроенный компьютер
  • PLC секвенсор?Mitsubishi Q series
  • Рецепты?         30 рецептов x 50 шагов
  • Производительность?100-120 шт. в час

к списку