ELS 504FA, ELS 506FA, ELS 508FA

  • Полностью автоматическая установка химической обработки
  • Размер подложки:150-200мм (ELS508FA); 100-150мм (ELS506FA); 50-100мм (ELS504FA)
  • Состав:зона загрузки / Робот / система выравнивания / камера очистки / зона выгрузки
  • Тип робота:двойной манипулятор с системой картирования
  • Класс чистоты:класс 100 с HEPA фильтром
  • Скорость вращателя:30 ~ 5000 оборотов в минуту
  • Очистка камеры:распылительный клапан, кисть и обдувка азотом
  • Управление:встроенный компьютер
  • PLC секвенсор:Mitsubishi Q series
  • Рецепты:         30 рецептов x 50 шагов
  • Производительность:90 шт. в час
  • Особенности: 1. Сухая обработка 2. Коэф. удаления частиц > 98%

к списку

Scroll Up