ELS 504FA, ELS 506FA, ELS 508FA

  • Полностью автоматическая установка химической обработки
  • Размер подложки?150-200мм (ELS508FA); 100-150мм (ELS506FA); 50-100мм (ELS504FA)
  • Состав?зона загрузки / Робот / система выравнивания / камера очистки / зона выгрузки
  • Тип робота?двойной манипулятор с системой картирования
  • Класс чистоты?класс 100 с HEPA фильтром
  • Скорость вращателя?30 ~ 5000 оборотов в минуту
  • Очистка камеры?распылительный клапан, кисть и обдувка азотом
  • Управление?встроенный компьютер
  • PLC секвенсор?Mitsubishi Q series
  • Рецепты?         30 рецептов x 50 шагов
  • Производительность?90 шт. в час
  • Особенности? 1. Сухая обработка 2. Коэф. удаления частиц > 98%

к списку