• Автоматическая установка очистки масок
  • Рабочий размер масок:5 х 5 дюймов и 7 х 7 дюймов
  • Тип робота:Трёхосевой
  • Скорость вращателя:500 ~ 2000 оборотов в минуту
  • Точность поддержания скорости вращения:   ± 1%
  • Ускорение:3000 оборотов в секунду
  • Система подачи химикатов:наличие
  • Система очистки:наличие
  • Подача азота:наличие
  • Система контроля температуры: опционально
  • Блок поворота:270°
  • Рецепты:         30 рецептов x 50 шагов
  • Полностью автоматическое устройство: загрузка и выгрузка из кассет
  • Автоматическая настройка под размер маски
  • Использование щетки и технологии мега звука для удаления частиц, никаких следов воды после очистки, хорошая эффективность очистки
  • Изменение размера маски: нет необходимости менять перенастраивать систему при очистке масок разного размера
  • Односторонняя или двухсторонняя очистка
  • Можно поменять режим очистки при обработке другого типа масок
  • Низкая стоимость: щелочные химикаты для очистки, низкая стоимость
  • Можно загружать/отслеживать/управлять записью процессов очистки масок
  • Собственные программное обеспечение/ аппаратные средства / оптические технические системы компании ELS
  • Удаление инородных частиц 99 %
  • Высокая производительность
  • Возможность соединения с системой проявления/экспонирования и настройка системы управления покупки / производства / очистки / удаления масок
  • Камера очистки
  • Система подачи химических реагентов
  • Манипулятор с устройством Mega Sonic
  • Манипулятор со щеткой: сканирующего типа
  • Насадки для подачи деионизированной воды или N2
  • Насадка для промывки задней стороны пластин деионизированной водой / обдувки N2
  • Система управления: ПК + ПЛК
  • Управление операциями: Сенсорная панель
  • Класс чистоты ИСО 5
  • Опционально: SECS / GEM (стандарт в области связи для полупроводниковой промышленности/общая управляющая программа для мультипроцессорных приложений в реальном времени)
  • Размеры: 1600 мм (Длинна), 1950 (Ширина), 2200 мм (Высота с сигнальными лампами)

к списку

Scroll Up