ELS System Technology Co., Ltd.

ELS 106SA

  • Размер обрабатываемых пластин: от 50мм до 150мм
  • Размер маски:         □4″ ~ □7″ кварц или стекло (soda lime)
  • Мощность лампы:  250Вт или 500Вт
  • Диапазон длин волн: широкополосный источник ( i линия : 365нм /  h линия : 400нм / g линия : 436 нм )

далее


ELS 108SA

  • Размер обрабатываемых пластин: от 150мм до 200мм
  • Размер маски:         □7″ or □9″ кварц или стекло (soda lime)
  • Мощность лампы:  660Вт~940Вт
  • Диапазон длин волн: широкополосный источник ( i линия : 365нм /  h линия : 400нм / g линия : 436 нм )

далее


ELS 112SA

  • Размер обрабатываемых пластин: от 200мм до 300мм
  • Размер маски:         □9″ or □14″ кварц или стекло (soda lime)
  • Мощность лампы:  1.89 КВт
  • Диапазон длин волн: широкополосный источник ( i линия : 365нм /  h линия : 400нм / g линия : 436 нм )

далее


ELS 106FA

  • Размер обрабатываемых пластин от 50мм до 150мм
  • Размер маски:□ 4″ ~ □7″ кварц или стекло (soda lime)
  • Мощность лампы:  250Вт либо 500Вт
  • Диапазон длин волн:широкополосный источник ( i линия : 365нм /  h линия : 400нм / g линия : 436 нм ) Интенсивность излучения: более 16 мВт / см2 на длине волны 365нм для 250Вт, более 40 мВт / см2 на полосе 365нм для 500Вт

далее


ELS 106FA-B

  • Размер обрабатываемых пластин от 50мм до 150мм
  • Размер маски:□ 4″ ~ □7″ кварц или стекло (soda lime)
  • Мощность лампы:  250Вт либо 500Вт
  • Диапазон длин волн: широкополосный источник ( i линия : 365нм /  h линия : 400нм / g линия : 436 нм ) Интенсивность излучения: более 16 мВт / см2 на длине волны 365нм для 250Вт, более 40 мВт / см2 на полосе 365нм для 500Вт

далее


ELS 108FA

  • Размер обрабатываемых пластин от 150мм до 200мм
  • Размер маски:□ 7″ ~ □9″ кварц или стекло (soda lime)
  • Мощность лампы:  660Вт ~ 940Вт   
  • Диапазон длин волн: широкополосный источник ( i линия : 365нм /  h линия : 400нм / g линия : 436 нм )

далее


ELS 407FA

  • Автоматическая установка очистки масок
  • Рабочий размер масок:5 х 5 дюймов и 7 х 7 дюймов
  • Тип робота:Трёхосевой
  • Скорость вращателя:500 ~ 2000 оборотов в минуту

далее


ELS 450FA

  • Автоматическая установка очистки масок
  • Рабочий размер:      1400 x 850мм и 800×900 мм для кварцевых масок
  • Состав:            загрузка / робот / выравнивание / очистка / блок поворота / блок УФ засветки/ выгрузка
  • Точность выравнивания:± 0.5мм

далее


ELS 504FA, ELS 506FA, ELS 508FA

  • Полностью автоматическая установка химической обработки
  • Размер подложки:150-200мм (ELS508FA); 100-150мм (ELS506FA); 50-100мм (ELS504FA)
  • Состав:зона загрузки / Робот / система выравнивания / камера очистки / зона выгрузки
  • Тип робота:двойной манипулятор с системой картирования

далее


ELS 512FA

  • Полностью автоматическая установка химической обработки
  • Размер подложки:    200мм / 300мм
  • Состав:            зона загрузки / Робот / система выравнивания / камера очистки / зона выгрузки
  • Тип робота:двойной манипулятор с системой картирования

далее


ELS 604FA

  • Установка задубливания фотрезиста
  • Размер подложки:50 – 100мм
  • Состав:зона загрузки / Робот / система выравнивания / система нагрева / зона выгрузки
  • Тип робота:двойной манипулятор с системой картирования

далее


ELS 606FA

  • Установка задубливания фоторезиста
  • Размер подложки:100 – 150мм
  • Состав:            зона загрузки / Робот / система выравнивания / система нагрева / зона выгрузки
  • Тип робота:двойной манипулятор с системой картирования

далее


ELS 706SA

  • Полуавтоматическое установка для нанесения проявителя
  • Размер обрабатываемых пластин от 50мм до 150мм или максимальный размер подложек 150х150мм
  • Скорость вращения: 100 ~ 4500 оборотов в минуту
  • Точность поддержания скорости вращения: ±1%

далее


ELS 708SA

  • Полуавтоматическое установка для нанесения проявителя
  • Размер обрабатываемых пластин от 50мм до 200мм или максимальный размер подложек 150х150мм
  • Скорость вращения: 100 ~ 4500 оборотов в минуту
  • Точность поддержания скорости вращения: ±1%

далее


ELS 712SA

  • Полуавтоматическое установка для нанесения проявителя
  • Размер обрабатываемых пластин 300мм
  • Скорость вращения: 100 ~ 4500 оборотов в минуту
  • Точность поддержания скорости вращения: ±1%

далее


ELS 807FA

  • Установка автоматической оптической инспекции масок
  • Рабочий размер пластин: 5″ ~ 7″
  • Компоновка блока:      Система загрузки масок / Робот / Устройство для центрирования / Столик / система выгрузки масок
  • Тип робота:    одноплечевой

далее


ELS 3604FA, ELS 3606FA

  • Автоматическая установка нанесения фоторезиста
  • Размер подложки: 50 ~ 100мм ELS 3604FA; 100 ~ 150мм ELS 3606FA.
  • Состав: LD / Robot / Centering / Coater / HP / CP / ULD
  • Тип робота:Трёхосевой

далее


ELS 3608FA

  • Автоматическая установка нанесения фоторезиста
  • Размер подложки: 150 ~ 200мм
  • Состав:            LD / Robot / Centering / Coater / HP / CP / ULD
  • Тип робота:Трёхосевой (Опция: автоматическая система порта загрузки)

далее


ELS 3612FA

  • Автоматическая установка нанесения фоторезиста
  • Размер подложки: 200 ~ 300мм
  • Состав: Auto Load port / Robot + Track / Centering / Coater / HP / CP / ULD
  • Тип робота:Трёхосевой (Опция: автоматическая система порта загрузки)

далее


ELS 7604FA, ELS 7606FA

  • Автоматическая установка проявления фоторезиста Размер подложки:    100 – 150мм (ELS7606FA); 50 – 100мм (ELS7604FA)
  • Состав:            зона загрузки / Робот / система выравнивания / система нагрева / зона выгрузки
  • Тип робота:Трёхосевой
  • Класс чистоты:класс 100 с HEPA фильтром

далее


ELS 7608FA

  • Автоматическая установка проявления фоторезиста
  • Размер подложки:    150 – 200мм
  • Состав:зона загрузки / Робот / система выравнивания / система нагрева / зона выгрузки
  • Тип робота:Трёхосевой

далее


ELS 7612FA

  • Автоматическая установка проявления фоторезиста
  • Размер подложки:    200 – 300мм
  • Состав:автоматическая загрузка / Робот с треком / система выравнивания / система нагрева /  зона выгрузки
  • Тип робота:Трёхосевой

далее


ELS 904FA, ELS 906FA

  • Установка удаления фоторезиста полностью автоматическая Размер подложки:50 – 100мм (904FA); 100 – 150мм (906FA)
  • Состав модуля:Загрузочный модуль / Робот / Устройство для центрирования / Система замачивания / Система удаления/ Очиститель /Устройство выгрузки пластин/
  • Тип робота:M201 + 505 Track
  • Контейнер для замачивания: Контейнер для замачивания пластин с химическими реагентами

далее


ELS 908FA

  • Установка удаления фоторезиста полностью автоматическая
  • Размер подложки:    150 – 200мм
  • Состав модуля:Загрузочный модуль / Робот / Устройство для центрирования / Система замачивания / Система удаления/ Очиститель /Устройство выгрузки пластин/
  • Тип робота:M201 + 505 Track

далее

Scroll Up