Hitachi RS-series (RS6000)

  • Многофункциональный электронный микроскоп для инспектирования дефектов на пластине
  • Система предназначена для автоматического выявления дефектов с автоматической классификацией для технологий с критическими размерами 2Хнм. Автоматическое определение дефектов на непрофилированных пластинах с производительностью, намного превышающей стандартные системы.
  • Размер пластин 200/300мм
  • Разрешение до 1.6нм
  • Ускоряющее напряжение до 1300Вт
  • Производительность до 2500дефектов в час
  • Точность автоматического определения дефектов более 90%
  • Правильность классификации дефектов более 85%
  • Возможность использования детектора хим. состава

к списку

Scroll Up