Hitachi LS-series

  • Система инспектирования пластин (до процесса литографии) предназначина для проверки качества кремниевых пластин и чистоты оборудования в производственной линейки.
  • Система имеет гибкость настройки для инспектирования небольших и неглубоких дефектов в режиме сканирования в один проход, либо получение высокого разрешения при сканирования в два прохода.
  • Размер пластин 200/300мм
  • Чувствительность до 32нм
  • Производительность до 80 пластин в час размером 300мм

к списку

Scroll Up