Hitachi CD-SEM CG5000/4000 Series

  • Высокоразрешающий электронный микроскоп для встраивания в производственную линию
  • Разработан для технологии менее 22нм (32нм для CG4000)
  •  Размер пластины до 300мм
  • Разрешение до 1.45нм (1.8нм для CG4000)
  • Повторяемость 0.25нм (3σ)
  • Автоматическая загрузка пластин (3FOUP совместимость)
  • Производительность 50 пластин в час (для 20 измерений на пластину)

к списку

Scroll Up