Hitachi High Technologies

Hitachi CD-SEM CG5000/4000 Series

  • Высокоразрешающий электронный микроскоп для встраивания в производственную линию
  • Разработан для технологии менее 22нм (32нм для CG4000)
  •  Размер пластины до 300мм
  • Разрешение до 1.45нм (1.8нм для CG4000)

далее


Hitachi LS-series

  • Система инспектирования пластин (до процесса литографии) предназначина для проверки качества кремниевых пластин и чистоты оборудования в производственной линейки.
  • Система имеет гибкость настройки для инспектирования небольших и неглубоких дефектов в режиме сканирования в один проход, либо получение высокого разрешения при сканирования в два прохода.
  • Размер пластин 200/300мм
  • Чувствительность до 32нм

далее


Hitachi RS-series (RS6000)

  • Многофункциональный электронный микроскоп для инспектирования дефектов на пластине
  • Система предназначена для автоматического выявления дефектов с автоматической классификацией для технологий с критическими размерами 2Хнм. Автоматическое определение дефектов на непрофилированных пластинах с производительностью, намного превышающей стандартные системы.
  • Размер пластин 200/300мм
  • Разрешение до 1.6нм

далее


Hitachi SU9000

  • Сканирующий электронный микроскоп сверхвысокого разрешения
  • Микроскоп SU9000 с холодным вольфрамовым катодом разрабатывался для достижения наивысшего разрешения
  • Этой модели принадлежит рекордное значение разрешения во вторичных электронах и в режиме работы на просвет
  • Конструкция интегрированного детектора отраженных и вторичных электронов позволяет одновременно выводить изображение, используя сигналы вторичных и отраженных электронов.

далее


Hitachi HF-3300

  • Просвечивающий электронный микроскоп с полевой эмиссией
  • Электронный микроскоп со свех-критическим разрешением – менее 0,1 нм.
  • Ускоряющее напряжение 300 kV 
  • Разрешение до 0.1нм

далее

Scroll Up