HELIOS G4 UX

Семейство продукции Thermo Scientific Helios G4 DualBeam заставляет переосмыслить стандарт подготовки образца и определения трехмерных характеристик посредством наиболее продвинутых показателей фокусированного ионного и электронного пучка, непревзойденного уровня автоматизации и удобства в применении.

Микроскоп Helios G4 UX принадлежит к четвертому поколению ведущего в своей отрасли семейства Helios DualBeam. Он тщательно разработан для удовлетворения потребностей научных работников и инженеров, сочетая в себе инновационную электронную колонну Elstar с сильноточной технологией UC+ для получения изображений с предельно высоким разрешением и высочайшего контраста материалов благодаря превосходной ионной колонне Phoenix для самой быстрой, удобной и точной подготовки образца. Кроме наиболее продвинутой электронной и ионной оптики, микроскоп Helios G4 UX включает в себя пакет новейших технологий, которые обеспечивают простую и последовательную подготовку образца для П/РЭМ (просвечивающая / растровая электронная микроскопия) и атомно-зондовой томографии (АЗМ), а также получение изображений высочайшего качества и определение трехмерных характеристик даже на самых сложных образцах.

Особенности:

  • Наиболее быстрая и простая подготовка высококачественных, характерных для площадки, сверхтонких образцов для ПЭМ и АЗМ посредством новой ионной колонны Phoenix с непревзойденными показателями по низкому напряжению.
  • Кратчайшие сроки до получения информации в наномасштабе посредством лучшей в своем классе электронной колонны ElstarTM.
  • Выявите самые мелкие детали благодаря следующему поколению технологии монохроматора UC+ с более высоким током, что позволяет работать в субнанометровом диапазоне при низких энергиях.
  • Наиболее полная информация об образце благодаря 6-ти детекторам, встроенным в колонну и расположенных под линзой.
  • Получение изображение высочайшего качества и трехмерная характеризация с наиболее точным наведением на исследуемую область посредством дополнительного программного обеспечения Auto Slice & View™ 4 (AS&V4).
  • Быстрое, точное и аккуратное травление и осаждение сложных структур с критически важными размерами менее 10 нм.
  • Точная навигация по образцу, специально подготовлена для особых прикладных потребностей, благодаря высокой стабильности и точности 150 мм предметного столика Piezo и камеры Nav-Cam внутри камеры.
  • Получение изображений без артефактов на основании встроенной функции управления чистотой образца и специальных режимов получения изображений, например, SmartScan™ и DCFI (объединение кадров с компенсацией на смещение)

Электронная оптика

  • Эмиссионная колонна РЭМ Elstar с предельно высоким разрешением и: иммерсионная линза; высокостабильная автоэмиссионная пушка Шотки для обеспечения стабильных аналитических токов высокого разрешения; технология монохроматора UC+
  • Двойная объективная линза под 60 градусов с защитой полюсного наконечника обеспечивает возможность наклонять более крупные образцы
  • Автоматизированные подогреваемые апертуры для обеспечения чистоты и бесконтактной замены апертуры
  • Электростатическое сканирование для более высокой линейности и скорости отражения
  • Технология линзы ConstantPowerTM (постоянная мощность) для более высокой тепловой стабильности
  • Встроенная бланкер пучка*
  • Замедление пучка напряжением смещения на предметном столике от 0 В до -4 кВ
  • Минимальный гарантируемый срок службы источника: 12 месяцев

к списку

Scroll Up