FEI  INSPECT SEM

СКАНИРУЮЩИЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП

Линейка микроскопов Inspect™ включает два сканирующих электронных микроскопа:

Inspect S — сканирующий электронный микроскоп с вольфрамовым катодом

Inspect F — сканирующий электронный микроскоп с источником электронов с полевой эмиссией (автоэмиссионный катод Шоттки).

Inspect S (с вольфрамовым катодом) — имеет высокий и низкий вакуум, идеален для проведения рутинных исследований в промышленных условиях.

Inspect F (с автоэмиссионным катодом Шоттки) имеет высокий, стабильный ток пучка FEG, необходимый для проведения фундаментальных научных исследований. Прибор подходит для научных лабораторий, для исследований характеристик материалов, для проведения экспертизы и контроля качества материалов.

Линейка микроскопов Inspect™ предназначена для получения изображений высокого разрешения. Эти экономичные модели микроскопов, созданные по передовым технологиям FEI, могут быть дооснащены различными опциями и предназначены как для промышленных предприятий, так и для исследовательских лабораторий, занимающихся экспертизой и изучением характеристик материалов.

Данные модели могут быть укомплектованы крио-столами для образцов, детекторам для энергодисперсионного анализа (метод энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии/ EDS/ ЭДРС), детектором для анализа по длине волны (метод дисперсионной рентгеновской спектроскопии по длине волны/WDS/ДРСДВ), детектором для анализа с помощью дифракции отраженных электронов (EBSD/ДОЭ).

РазрешениеУскоряющее напряжениеТок луча 
Inspect S• Высокий вакуум 
– 3.0nm at 30kV (SE) 
– 8.0nm at 3kV (SE) 
– 4.0nm at 30kV (BSE) 
• Низкий вакуум 
– 3.0nm at 30kV (SE) 
– 4.0nm at 30kV (BSE) 
– 10nm at 3kV (SE)
200V – 30kVДо 2μA – с плавной регулировкой  
Inspect F• Высокий вакуум 
– 0.8nm at 30kV (STEM) * 
– 1.0nm at 30kV (SE) 
– 2.5nm at 30kV (BSE) * 
– 3.0nm at 1kV (SE)
200V – 30kVДо 2μA – с плавной регулировкой  

к списку

Scroll Up