FEI  HELIOS NANOLAB 660

ЭЛЕКТРОННО-ИОННЫЙ (ДВУХЛУЧЕВОЙ) МИКРОСКОП

Двухлучевые микроскопы линейки Helios NanoLab представляют собой сочетание самых современных сканирующих электронных микроскопов и технологий фокусированного ионного пучка Sidewinder FIB. Эксклюзивная технология DualBeam™ дает новые возможности сверхвысокого разрешения при 2D- и 3D-характеризации, создании нанопрототипов и подготовке образцов.

В комплекте с системой газовой инжекции, дополнительными детекторами и манипуляторами обеспечивает непревзойденное разрешение и высокопроизводительное травление при помощи пучка ионов для быстрой подготовки образцов с целью последующего анализа в просвечивающем электронном микроскопе.

Дополнительный детектор STEM 30 кВ поддерживает высокое разрешение и высокий контраст изображения, что делает систему уникальной и не имеющей себе равных среди приборов для визуализации поверхности, анализа материалов, модификации поверхности и подготовки образцов для TEM.

  • Сверхвысокое разрешение (XHR) с субнанометровым разрешением в режиме работы с напряжением от 500 В до 30 кВ;
  • Чёткая, улучшенная контрастность при беззарядном получении изображений за счёт шести детекторов, расположенных в колонне и под линзой;
  • Создание чётких изображений благодаря интегрированной системе контроля качества образца  и  специальным режимам визуализации, таким как SmartScan™ и DCFI;
  • Самая быстрая и качественная подготовка поперечных срезов;
  • Высокопроизводительная подготовка тончайших образцов высшего качества;
  • Быстрое, точное и надёжное травление и осаждение самых неоднородных и сложных структур размером меньше 10 нм;
  • Гибкое и интуитивно понятное прототипирование с помощью комплексных встроенных библиотек моделей, файлов материалов и широчайшей вариативности химического состава пучка;
  • Надёжная адаптивная автоматизация для решения различных задач, в том числе съёма трёхмерных данных, формирования крупных изображений и изображений в нескольких диапазонах размерностей.

к списку

Scroll Up