Zeiss Auriga CrossBeam

Двухлучевой электронный микроскоп (FIB-SEM)

  • Растровый электронный микроскоп с колонной фокусированных ионных пучков (ФИП) совмещает в себе возможности 3D визуализации и аналитические возможности электронного пучка.
  • Пространственное разрешение до 1нм с электронной колонной и до 2.5нм с ионной
  • Размер образца до 6″. Размер камеры Ø 520мм, высота 307мм
  • Диапазон ускоряющих напряжений 0,1 — 30 kВ
  • Система микроподачи газовых смесей (до 5 резервуаров одновременно) — для ионного травления, резки, осаждения
    Система микроподачи газовых смесей (до 4 резервуаров одновременно) — для ионного травления, резки, осаждения + компенсатор заряда
    Система микроподачи газовых смесей (1 резервуар)
  • Опционально: 15 портов для подключения дополнительных аналитических приставок: STEM, 4QBSD, EDS, WDS, EBSD, SIM, GIS, компенсатор заряда, система манипуляции образцом,2 ИК-камеры для обзора рабочей камеры

к списку

Scroll Up